Méthode d'essai SEMI F101 pour déterminer les performances des régulateurs de pression dans les systèmes de distribution de gaz

Méthode d'essai SEMI F101 pour déterminer les performances des régulateurs de pression dans les systèmes de distribution de gaz

Développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), la norme SEMI F101 définit une méthode de test pour tester les régulateurs de pression envisagés pour une installation dans les systèmes de gaz. L'application de cette méthode d'essai devrait fournir des données comparables entre les organismes de réglementation testés à des fins de qualification. Cette norme fournit une méthode d'essai pour déterminer les caractéristiques de performance du régulateur.

Méthode d'essai SEMI F101 pour déterminer les performances des régulateurs de pression dans les systèmes de distribution de gaz

Cette méthode d'essai s'applique aux régulateurs de pression. Les méthodes d'essai qui mesurent ces propriétés doivent être effectuées dans l'ordre suivant :

  • Numéro de particule
  • fuite
  • fluage / crash
  • Effet de pression d'alimentation
  • résolution
  • Courbe de débit, courbe d'hystérésis et pression par rapport à la valeur d'hystérésis de fonctionnement
  • répétabilité
  • Réglage de la stabilité de la pression
  • réponse transitoire de fonction échelonnée
  • résonance
  • coefficient de débit
  • Surpression
  • force

En bref, cette méthode d'essai fournit une base commune pour la communication entre les fabricants et les utilisateurs.

Les fabricants conçoivent leurs systèmes de distribution de gaz en fonction des meilleures pratiques et créent de nombreuses configurations pour répondre aux besoins. Les systèmes de distribution de gaz conformes aux normes et configurables sont conçus pour aider à protéger les opérateurs de système, augmenter le temps de fonctionnement du processus et améliorer la précision et la répétabilité du processus. La sécurité et la fonctionnalité sont les facteurs les plus importants dans ce processus. Les systèmes comprennent un ou un ensemble de régulateurs de pression pour fournir efficacement les gaz d'une source haute pression au reste de l'installation à la pression et au débit requis par chaque application. À ce stade, il est important de déterminer les performances du régulateur de pression. Pour les utilisateurs commerciaux et industriels, une pression stable est essentielle afin que les opérations ne soient pas compromises.

Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :

  • SEMI F1 Spécification d'intégrité des fuites des systèmes et composants de tuyauterie de gaz de haute pureté
  • SEMI F32 Méthode d'essai pour déterminer le coefficient de débit dans les vannes d'arrêt de haute pureté

Notre organisation, avec son personnel formé et expert et ses équipements technologiques de pointe, parmi les nombreuses études de test, mesure, analyse et évaluation qu'elle a réalisées pour des entreprises de divers secteurs, dans le cadre de la norme SEMI F101. Elle fournit également des services de test pour déterminer les performances des régulateurs de pression dans les systèmes de distribution de gaz.

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