Développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), la norme SEMI F104 décrit les exigences et présente des méthodes d'essai pour évaluer et comparer les composants d'un écoulement liquide d'eau ultrapure en termes de contribution de particules. Cette norme définit deux méthodes d'essai pour évaluer la contribution des particules : la méthode d'essai de rinçage et la méthode d'essai dynamique.
Les deux méthodes d'essai sont appliquées aux composants de systèmes chimiques liquides et d'eau ultrapure destinés à être utilisés dans les outils de fabrication de semi-conducteurs et les équipements auxiliaires.
Les méthodes d'essai décrites dans cette norme sont des essais pour mesurer la contribution particulaire des composants lors de l'utilisation d'eau ultrapure comme milieu d'essai. Aux fins de la présente norme, l'eau ultrapure doit répondre aux exigences minimales décrites dans la norme. Lors de l'application de ces méthodes d'essai, un instrument de mesure des particules optiques liquides est utilisé pour mesurer les performances. Cet appareil est couramment utilisé comme compteur de particules pour détecter et surveiller la contamination particulaire dans certains environnements propres, notamment l'air, l'eau et les produits chimiques. Les compteurs de particules sont utilisés dans les technologies industrielles telles que les composants et assemblages électroniques, les produits pharmaceutiques et les dispositifs médicaux, ainsi que le pétrole et le gaz pour soutenir des pratiques de production plus propres.
Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :
Notre organisation, avec son personnel formé et expert et ses équipements technologiques de pointe, parmi les nombreuses études de test, mesure, analyse et évaluation qu'elle a réalisées pour des entreprises de divers secteurs, dans le cadre de la norme SEMI F104. Elle fournit également des services de test pour l'évaluation des additifs particulaires des composants utilisés dans les systèmes de distribution d'eau ultrapure et de produits chimiques liquides.
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