Méthode de test pour déterminer l'intégrité des fuites des systèmes de distribution de gaz avec le détecteur de fuites à l'hélium SEMI F106

Développé dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), qui comprend des activités au profit d'industries telles que les semi-conducteurs, les circuits intégrés, les transistors, les diodes et les écrans plats dans le monde entier, la norme SEMI F106 est techniquement approuvée. par le Comité technique mondial des gaz. est une norme. Cette norme décrit une méthode d'essai pour détecter les fuites internes d'hélium pour les systèmes de distribution de gaz. Cette norme couvre à la fois les systèmes d'étanchéité métalliques conventionnels et les systèmes de distribution de gaz montés en surface.

La méthode d'essai présentée est applicable à tous les types de systèmes de distribution de gaz de haute pureté utilisés dans les usines de fabrication de semi-conducteurs et les domaines de recherche et développement comparables.

Les tests de fuite à l'hélium sont appliqués pour détecter les fuites possibles dans différents types de systèmes fermés ou scellés qui utilisent l'hélium comme gaz traceur. Avec ce test, la concentration de fuite (fuite) est mesurée et déterminée en tant que taux de fuite.

Les principales qualités clés de l'hélium gazeux qui le rendent idéal pour les tests de fuite sont :

L'hélium gazeux est l'une des plus petites molécules qui lui permet de se croiser de manière fiable et rapide.
L'hélium gazeux est un gaz inerte, n'interagit pas avec les composants testés et est donc sûr à utiliser.
Le bruit de l'appareil provenant de l'hélium est intrinsèquement faible en raison de sa disponibilité limitée dans l'atmosphère à moins de 5 ppm et donne donc des rapports extrêmement précis.

En bref, les méthodes de test à l'hélium sont une technologie de test de fuite très sensible équipée de la détection de fuites extrêmement petites qui ne sont pas possibles avec d'autres méthodes de test de fuite. La technique du vide poussé est utilisée pour ce test. Des seuils de test de fuite très bas sont fournis, un niveau de sensibilité qui permet des comparaisons sans précédent entre les composants de l'emballage.

Notre organisation, parmi les nombreuses études de test, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle propose aux entreprises de divers secteurs, fournit également des services de test pour la détermination de l'intégrité de fuite des systèmes de distribution de gaz avec détecteur de fuite à l'hélium dans le cadre de la norme SEMI F106, avec son personnel formé et expert et son équipement technologique de pointe.