Dans la norme SEMI F111, développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), qui comprend des activités au profit d'industries telles que les semi-conducteurs, les circuits intégrés, les transistors, les diodes et les écrans plats dans le monde entier., décrit une méthode d'essai pour mesurer la capacité d'élimination des particules de l'unité de filtrage du ventilateur de l'équipement (EFFU) installée à l'intérieur de l'équipement.
-partikul-temizleme-icin-test-yontemi.jpg "Méthode de test de l'unité de filtre de ventilateur d'équipement SEMI F111 (EFFU) pour l'élimination des particules")
Étant donné qu'un filtre à particules de ventilateur, un ventilateur et un ensemble moteur sont installés à l'intérieur de l'équipement, l'intégrité de ces pièces est très importante pour les performances de l'unité de filtre de ventilateur de l'équipement. Par conséquent, une méthode d'essai d'élimination des particules conventionnelle pour les filtres à particules convient pour évaluer les performances d'élimination des particules de l'unité de filtre à ventilateur de l'équipement.
La méthode d'essai décrite dans cette norme décrit une méthode d'évaluation pour une unité de filtre à ventilateur d'équipement installée dans un espace confiné pour éliminer les particules produites dans l'équipement de traitement. Les performances d'élimination des particules des unités de filtration des ventilateurs d'équipement dépendent généralement des performances du média filtrant et du débit d'air. Pour comprendre les performances d'une unité de filtre de ventilateur d'équipement, il est nécessaire de considérer simultanément les spécifications du média filtrant, le débit d'air et l'intégrité des pièces de l'unité de filtre de ventilateur d'équipement. En bref, cette méthode d'essai vise à démontrer les performances du système de l'unité de filtrage du ventilateur de l'équipement.
L'unité de filtre de ventilateur d'équipement est une sorte d'équipement de filtration d'air motorisé. Il est utilisé pour éliminer les particules nocives en suspension dans l'air ambiant et pour fournir de l'air purifié aux salles blanches, laboratoires, installations médicales ou micro-environnements. Ces unités contiennent généralement leur propre filtre, un filtre HEPA et un ventilateur de distribution d'air contrôlé en interne. Les unités de filtre à ventilateur d'équipement sont des solutions flexibles et économiques pour éliminer les particules des équipements à ventilation unidirectionnelle.
Lors de la préparation de cette norme, la norme SEMI suivante a été prise comme référence :
Parmi les nombreuses études d'essais, de mesures, d'analyses et d'évaluations qu'elle propose aux entreprises de divers secteurs, notre organisation propose également des prestations d'essais pour le nettoyage particulaire des équipements de groupe motoventilateur (EFFU) dans le cadre de la norme SEMI F111, avec son personnel formé et expert. et des équipements technologiques de pointe.
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