Développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), la norme SEMI F112 se concentre sur la détermination des caractéristiques de séchage de l'humidité (c'est-à-dire la quantité d'humidité extractible) du montage en surface des systèmes de distribution de gaz intégrés et du gaz conventionnel systèmes de distribution utilisant des analyseurs de spectroscopie à anneau spatial (CRDS) Une méthode d'essai est définie pour
-ile-belirlenmesi-icin-test-yontemi.jpg "Méthode d'essai SEMI F112 pour la détermination des propriétés de séchage à l'humidité des systèmes de distribution de gaz montés en surface et conventionnels par spectroscopie annulaire de cavité (CRDS)")
Les résultats de cette méthode d'essai sont utilisés pour le classement qualitatif du système de distribution de gaz en fonction de la conception. Il peut également être utilisé par un utilisateur ayant des connaissances suffisantes comme entrée pour la simulation numérique du comportement d'un système de distribution de gaz.
Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :
La spectroscopie à anneau spatial (CRDS) est une technique bien connue et utilisée pour surveiller l'humidité dans les gaz de procédé de haute pureté dans les industries de fabrication de semi-conducteurs et de LED, ainsi que dans la production, le transport et la distribution de gaz et de produits chimiques industriels. Les avantages de cette technique de surveillance de l'humidité précise et rentable attirent l'attention des émetteurs de normes de l'industrie tels que SEMI.
La méthode de test présentée dans la norme SEMI F112 permet aux utilisateurs d'évaluer qualitativement et de classer les systèmes de distribution de gaz en fonction de leur conception. Cette norme couvre les principaux domaines d'application suivants :
En général, les normes SEMI sont des accords techniques volontaires entre les fournisseurs et les clients visant à améliorer la qualité et la fiabilité des produits grâce à un approvisionnement stable. Ces normes garantissent la compatibilité mondiale des produits pour relever les défis de l'augmentation de la productivité tout en offrant des opportunités commerciales dans le monde entier.
Notre organisation, parmi les nombreuses études de test, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle a données pour des entreprises de divers secteurs, avec son personnel formé et expert et ses équipements technologiques de pointe, dans le cadre de la norme SEMI F112, propriétés de séchage à l'humidité des surfaces montées et systèmes de distribution de gaz conventionnels avec spectroscopie annulaire spatiale (CRDS).Elle fournit également des services d'essai pour la détermination de
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