Développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), la norme SEMI F114 définit une méthode de test pour déterminer les composés organiques sur les surfaces humides des systèmes et composants de distribution de produits chimiques à ultra-haute pureté (UHP).
Cette méthode d'essai est applicable aux systèmes et composants d'administration de produits chimiques à ultra haute pureté. Les échantillons d'essai comprennent des vannes, des régulateurs, des filtres et des contrôleurs de débit massique, des tuyauteries, des raccords à souder et des raccords à joint facial. La méthode d'essai décrite est également utilisée pour détecter la contamination d'une zone d'assemblage ou de production. Cette méthode d'essai détaille la méthode d'élimination et de mesure des contaminants organiques trouvés sur les surfaces humides.
En bref, cette méthode d'essai peut également être utilisée pour évaluer l'efficacité de divers procédés de lavage ou de nettoyage.
Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :
Les polluants organiques sont définis comme des produits chimiques à base de carbone tels que les solvants organiques, les pesticides, les déchets à base de pétrole, le bois et les composés volatils en phase gazeuse ou liquide. Les polluants organiques ont souvent des effets néfastes sur l'environnement. Des niveaux infimes de résidus de polluants organiques dans le sol, l'eau, l'air et parfois les aliments peuvent être nocifs pour la santé humaine et environnementale.est en train d'être soulevé. Les polluants organiques, les solvants, les précurseurs chimiques et les intermédiaires en phase gazeuse ou liquide peuvent contenir des composés organiques volatils (COV) sous forme de composés pétroliers.
Notre organisation fournit des services d'essais pour la détermination de polluants organiques sur les surfaces humides des systèmes de distribution de produits chimiques de très haute pureté et des composants dans le cadre de la norme SEMI F114, avec son personnel formé et expert et ses équipements technologiques de pointe, parmi les nombreux tests, mesures , des études d'analyse et d'évaluation qu'il propose aux entreprises de divers secteurs.
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