Dans la norme SEMI F115, développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), qui comprend des activités au profit d'industries telles que les semi-conducteurs, les circuits intégrés, les transistors, les diodes et les écrans plats du monde entier , Décrit une méthode d'essai pour détecter les éléments métalliques présents sur les surfaces mouillées des systèmes et composants d'administration de produits chimiques à ultra-haute pureté (UHP).
Cette méthode d'essai est applicable aux systèmes et composants d'administration de produits chimiques à ultra haute pureté. Des exemples d'essais incluent des vannes, des régulateurs, des filtres, des contrôleurs de débit massique, des tuyauteries, des ensembles de soudage et des ensembles d'étanchéité faciale. Cette méthode de test peut également être utilisée pour détecter une contamination provenant d'un site d'assemblage ou de fabrication.
La norme précitée détaille la méthode d'extraction et de mesure des éléments métalliques amovibles avec de l'eau ultrapure sur des surfaces mouillées. Cette méthode d'essai peut également être utilisée pour évaluer l'efficacité de divers procédés de lavage ou de nettoyage.
Les gaz de très haute pureté sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. La pureté ultra-élevée est généralement définie comme une concentration inférieure à 100 ppb pour toutes les molécules volatiles telles que le niveau d'impureté ou l'humidité.
Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :
Notre société, parmi les nombreuses études de test, mesure, analyse et évaluation qu'elle propose aux entreprises de divers secteurs, avec son personnel formé et expert et son équipement technologique de pointe, des services de test pour la détermination d'éléments métalliques sur les surfaces humides d'ultra-haute pureté les systèmes et composants de distribution de produits chimiques entrant dans le champ d'application de la norme SEMI F115. donne également.
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