Développé dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), qui comprend des activités au profit des industries du monde entier telles que les semi-conducteurs, les circuits intégrés, les transistors, les diodes et les écrans plats, SEMI FLa norme 64 définit une méthode d'essai pour caractériser un régulateur de débit massique envisagé pour une installation dans un système de distribution de gaz. Cette méthode d'essai est appliquée pour déterminer l'effet des conditions transitoires et stables de pression d'entrée et de sortie sur les performances du régulateur de débit massique.
Cette méthode d'essai fournit une base commune pour la communication entre les fabricants et les utilisateurs concernant les essais et l'explication des effets de la pression du régulateur de débit massique.
Avec cette méthode d'essai, les effets de la pression transitoire en amont (entrée) et en aval (sortie) sur le débit spécifié et réel sont déterminés. Cette méthode d'essai donne les résultats du débit de sortie réel par rapport au débit spécifié et au point de consigne du contrôleur de débit massique affecté par la pression d'entrée en régime permanent. La méthode s'applique aux régulateurs de débit massique avec une plage de débit maximale allant jusqu'à 1000 sccm (centimètres cubes standard par minute).
L'augmentation de la pression provoque la compression du gaz. Les gaz ont une densité plus élevée et occupent un volume plus petit. En d'autres termes, si une certaine masse de gaz s'écoule, son volume est plus petit. Comme la même masse de gaz circule dans le même tuyau, la vitesse du gaz comprimé diminue.
Dans les applications de gaz, les fluctuations de pression de gaz peuvent affecter la vitesse du gaz, affectant ainsi de manière significative les instruments de mesure du débit de gaz.
Essentiellement, le débit est une mesure du débit d'air en volume par unité de temps. La vitesse fait référence à la vitesse à laquelle l'air se déplace par unité de temps. La pression est la mesure de la force appliquée à une zone.
Parmi les nombreuses études de test, de mesure, d'analyse et d'évaluation que notre société propose aux entreprises de divers secteurs, avec son personnel formé et expert et son équipement technologique de pointe, des services de test pour la détermination des effets de la pression sur le débit réel et indiqués pour la masse dispositifs de contrôle de débit entrant dans le cadre de la norme SEMI F64.
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