Développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), la norme SEMI F69 est une norme techniquement approuvée par le comité technique mondial des gaz. La présente norme fournit des méthodes d'essai à appliquer pour caractériser l'intégrité mécanique des systèmes de distribution de gaz par des essais de vibrations et de chocs. Les méthodes de test recommandées ici incluent les tests de vibration (simulation de transport) et de choc des systèmes de distribution de gaz (y compris le montage conventionnel et en surface) pour le traitement des semi-conducteurs.
Les méthodes d'essai définies dans la norme SEMI F69 s'appliquent aux systèmes de distribution de gaz qui ne sont pas conditionnés pour l'expédition. Plus précisément, les méthodes d'essai s'appliquent aux composants de distribution de gaz assemblés et interconnectés et à leur panneau de montage associé, avec ou sans blindage en tôle.
Aux fins de la présente norme, les vibrations de transport et la simulation devraient être plus élevées que la normale aux niveaux de vibration utilisés. Par conséquent, les tests de simulation de transport sont considérés comme acceptables pour évaluer l'intégrité mécanique adéquate à la fois pour le transport et les contraintes vibratoires du cycle de vie des systèmes de distribution de gaz.
Le but des tests de choc est de fournir une évaluation plus détaillée des défaillances de l'équipement résultant de chocs lors du déballage, de l'installation ou de l'utilisation sur le terrain.
Elle représente une intégrité mécanique recommandée pour l'architecture, la conception et les techniques d'assemblage des systèmes de distribution de gaz, si les tests recommandés dans cette norme sont réalisés avec succès.
Lorsque les gaz sont utilisés dans des volumes importants, un système de distribution de gaz centralisé est une nécessité pratique. Un système de distribution bien conçu réduit les coûts d'exploitation, augmente la productivité et augmente la sécurité. Un système central permet la consolidation de tous les cylindres dans un emplacement de stockage. Dans cette application, les gaz sont séparés selon leurs types pour augmenter la sécurité.
Lors de la préparation de cette norme, la norme SEMI suivante a été prise comme référence :
Parmi les nombreuses études de test, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle propose aux entreprises de divers secteurs, notre organisation propose également des prestations de test pour le transport et les essais de choc des réseaux de distribution de gaz dans le cadre de la norme SEMI F69, avec son personnel formé et expert et équipements technologiques de pointe.
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