Méthode d'essai pour le cycle de température du système de distribution de gaz SEMI F71

Méthode d'essai pour le cycle de température du système de distribution de gaz SEMI F71

Développé dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), qui comprend des activités au profit d'industries telles que les semi-conducteurs, les circuits intégrés, les transistors, les diodes et les écrans plats dans le monde entier, la norme SEMI F71 est techniquement approuvée. par le Comité technique mondial des gaz. est une norme. La méthode d'essai définie dans la présente norme s'applique aux systèmes de distribution de gaz installés dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs.

Méthode d'essai pour le cycle de température du système de distribution de gaz SEMI F71

Cette norme ne prétend pas résoudre tous, le cas échéant, les problèmes de sécurité associés à son utilisation. Il est de la responsabilité des utilisateurs de cette norme d'établir des pratiques de sécurité et de santé appropriées avant l'utilisation et de déterminer l'applicabilité des limitations.

Dans un système de distribution de gaz à basse pression, la pression du gaz dans les conduites principales et de service est sensiblement la même que celle délivrée aux appareils de l'utilisateur. Dans un tel système, un régulateur de service n'est pas requis sur les lignes de service séparées. Le système de tuyauterie de distribution de gaz à haute pression fonctionne à une pression plus élevée que la pression de service standard donnée à l'utilisateur. Dans un tel système, un régulateur de service est requis sur chaque ligne de service pour contrôler la pression.

Les différents modèles de transfert de chaleur externe dépendent de l'influence des pressions des fluides de la canalisation et du calcul des températures en réponse au cycle annuel de température ambiante. Dans le modèle de transfert de chaleur, le cycle de température ambiante est représenté par la température de surface du sol, qui a une fonction périodique du temps. Cependant, les résultats ne sont pas sensibles au choix du modèle de transfert de chaleur externe des pressions des canalisations. Pour le cas de référence, qui représente généralement le gazoduc d'exportation de gaz naturel, l'impact sur les températures de gaz calculées est limité.

De nombreux matériaux dans un système de distribution de gaz subissent des changements en fonction des facteurs de l'environnement. Des tests de résistance aux conditions environnementales visent à détecter ces changements.

Les systèmes de distribution de gaz doivent fournir en toute sécurité et efficacement les gaz d'une source à haute pression au processus final à la pression et au débit requis par chaque application.

Notre organisation fournit également des services de test pour le cycle de température du système de distribution de gaz dans le cadre de la norme SEMI F71, avec son personnel formé et expert et ses équipements technologiques de pointe, parmi les nombreuses études de test, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle propose aux entreprises dans divers secteurs.

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