Méthode de test SEMI F72Auger pour les tests de spectroscopie électronique (AES) des surfaces humides de composants en acier inoxydable 316L passivés

Méthode de test SEMI F72Auger pour les tests de spectroscopie électronique (AES) des surfaces humides de composants en acier inoxydable 316L passivés

Développé dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), le but de la norme SEMI F72 est de décrire une méthode d'essai pour caractériser la composition de surface des composants en acier inoxydable 316L passivés envisagés pour une installation dans un système de distribution de gaz de haute pureté. . Cette méthode d'essai est conçue pour être appliquée aux surfaces humides des tuyaux, raccords, vannes et autres composants en acier inoxydable comme mesure de l'efficacité de la passivation. Le processus de passivation est le processus de neutralisation sur le fer après l'utilisation d'acide dérouillant.

Méthode de test SEMI F72Auger pour les tests de spectroscopie électronique (AES) des surfaces humides de composants en acier inoxydable 316L passivés

Le but de cette méthode d'essai est de définir un ensemble général de paramètres et de conditions d'instruments qui permettront d'obtenir des mesures reproductibles au sein de la couche d'oxyde passif enrichie en chrome. Cette méthode d'essai a été préparée pour caractériser la composition et l'épaisseur de la couche d'oxyde enrichie en chrome des surfaces en acier inoxydable et pour détecter la contamination de surface dans les tuyaux, raccords, vannes et autres composants. La méthode consiste à détecter et à mesurer la composition des éléments de surface par spectroscopie électronique Auger (AES). Cette méthode d'essai décrit également la méthode d'essai pour le profil de composition en profondeur du chrome, du fer, du nickel, de l'oxygène et du carbone s'étendant de la surface prise à travers les couches d'oxyde et dans le métal de base. Cette mesure fournit des informations sur l'épaisseur de l'oxyde et l'enrichissement en chrome dans toute la région passivée.

En utilisant la spectroscopie électronique Auger (AES), l'échantillon est bombardé par des électrons à haute énergie et certains électrons sont retirés des atomes cibles et les atomes sont ionisés. Étant donné que l'atome ionisé est instable, un électron de l'orbitale externe remplit la vacance d'électrons dans l'orbitale interne. Cette méthode est une technique d'analyse d'images très puissante.

Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :

  • Spécification pour SEMI C57 Argon
  • Spécification pour l'azote SEMI C59

Notre organisation, parmi les nombreuses études d'essai, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle a données pour des entreprises de divers secteurs, avec son personnel formé et expert et son équipement technologique de pointe, la méthode d'essai pour la spectroscopie électronique Auger (AES) dans le cadre de la SEMI La norme F72 est la méthode de test d'oxyde des surfaces humides des composants en acier inoxydable passivé 316 L. Elle fournit également des services de test pour l'évaluation de la couche.

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