Développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), la norme SEMI F73 définit une méthode de test uniforme pour tester les surfaces humides des composants en acier inoxydable destinés à être assemblés dans des systèmes de distribution de gaz de haute pureté. Cette méthode d'essai caractérise l'apparition, la fréquence et, dans certains cas, l'identité des défauts de surface microscopiques et des contaminants observés sur les surfaces humides.
-degerlendirmesi-icin-test-yontemi.jpg "Méthode d'essai SEMI F73 pour l'évaluation par microscopie électronique à balayage (MEB) de l'état de surface humide des composants en acier inoxydable")
Il existe une corrélation directe entre les résultats de cette méthode d'essai et la contamination des gaz de procédé ou les rendements des produits dans les procédés desservis par des systèmes de distribution de gaz de haute pureté. L'application de cette méthode d'essai est destinée à produire des résultats comparables et reproductibles entre divers utilisateurs de cette méthode aux fins de la qualification des composants.
L'objectif de la méthode d'essai décrite dans la présente norme est de définir un ensemble général de paramètres et de conditions instrumentaux qui donneront des mesures précises et reproductibles des paramètres importants de l'état de surface.
Cette méthode d'essai est applicable aux surfaces humides des tuyaux, raccords, vannes et autres composants en acier inoxydable pour déterminer l'efficacité des traitements de finition et de nettoyage de surface. Cette méthode est appliquée pour identifier les défauts de surface, y compris les piqûres, les inclusions, les rayures, les marques de processus résiduelles, les joints de grains et la contamination sur les surfaces mouillées. Cependant, tout dommage de surface subi pendant la préparation de l'échantillon doit être exclu de cette évaluation.
Un microscope électronique à balayage (MEB) est un microscope électronique qui utilise un faisceau focalisé d'électrons pour balayer et imager la surface de l'échantillon. Les électrons interagissent avec les atomes de l'échantillon et produisent différents signaux contenant des informations sur la composition à la surface de l'échantillon. Les dispositifs de balayage standard conviennent à l'inspection des surfaces sèches et conductrices sous vide poussé. Cependant, il existe également des dispositifs de balayage qui fonctionnent dans des conditions de vide faible, humides et allant de températures très basses à élevées.
KParmi les nombreuses études d'essai, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle propose aux entreprises de divers secteurs, notre organisation, avec son personnel formé et expert et son équipement technologique de pointe, des services d'essai pour l'évaluation de l'état de surface mouillée des composants en acier inoxydable avec balayage électronique microscope (MEB) dans le cadre de la norme SEMI F73. donne également.
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