Dans la norme SEMI F76 développée dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI)décrit une méthode d'essai pour comparer les composants de traitement des gaz pour la génération potentielle de particules dans le service de gaz corrosif. Cette norme est conçue comme un moyen pratique de générer des données de performance pour un ensemble de composants à comparer dans un processus de sélection. La méthode d'essai décrite s'applique aux vannes, aux filtres à particules et aux régulateurs de basse pression.
Les normes SEMI fournissent aux fabricants des conseils sur les processus chimiques et matériels impliqués dans la fabrication de puces semi-conductrices et d'autres dispositifs connexes. Grâce à ces normes, les entreprises peuvent pénétrer les marchés internationaux, minimiser les risques de conception et augmenter leur productivité.
Pour l'industrie des semi-conducteurs, une pureté élevée, une résistance chimique, une densité et une précision sont des outils importants pour le développement de produits et les processus de fabrication. Les matériaux semi-conducteurs sont des matériaux qui acquièrent des propriétés conductrices sous l'effet du travail mécanique qui leur est appliqué. Ces matériaux, qui sont des isolants dans des conditions normales, libèrent une partie de leurs électrons et deviennent conducteurs lorsque des effets externes tels que la chaleur, la lumière, l'effet magnétique ou la tension électrique sont appliqués. Lorsque cet effet externe appliqué est supprimé, ces substances retournent à l'état isolant. Grâce à ces propriétés, les semi-conducteurs sont largement utilisés dans le domaine de l'électronique.
Les normes SEMI concernent également les sources de gaz stockées/comprimées et les systèmes de distribution. Il se réfère également généralement à des gaz additifs hautement toxiques lors des étapes de diffusion à haute température.
Lors de la préparation de cette norme, les normes SEMI suivantes ont été prises comme référence :
Notre organisation, parmi les nombreuses études de test, de mesure, d'analyse et d'évaluation qu'elle propose aux entreprises de divers secteurs, fournit également des services de test pour l'évaluation de la contribution en particules des composants du système de gaz exposés à des gaz corrosifs dans le cadre de la norme SEMI F76, avec ses personnel formé et expert et équipement technologique de pointe.
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