Méthode d'essai pour déterminer l'efficacité d'échange / de décharge de gaz du système de distribution de gaz SEMI F80

Développé dans le cadre d'un programme de normes internationales appelé International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), qui comprend des activités au profit d'industries telles que les semi-conducteurs, les circuits intégrés, les transistors, les diodes et les écrans plats dans le monde entier, la norme SEMI F80 est techniquement approuvée. par le Comité technique mondial des gaz. est une norme. Cette norme décrit une méthode d'essai pour déterminer l'efficacité d'échange de gaz / de nettoyage du système de distribution de gaz. Cette norme couvre à la fois les systèmes d'étanchéité métalliques conventionnels et les systèmes de distribution de gaz montés en surface. Cette méthode de test convient à tous les systèmes de distribution de gaz de haute pureté utilisés dans les usines de fabrication de semi-conducteurs et les domaines de recherche et développement comparables.

Il est important d'éliminer l'air ambiant de toutes les parties d'un système de canalisation de gaz de haute pureté avant l'introduction du gaz de procédé. Ceci est nécessaire pour deux raisons :

• L'air restant réduit la pureté du gaz de traitement. Ceci s'applique à tout gaz de procédé, qu'il soit dangereux ou non.
• L'air contient de l'oxygène et de la vapeur d'eau, certains gaz spéciaux réagissent avec l'oxygène et les produits de réaction résultants peuvent entraîner une contamination du processus et une défaillance des composants du collecteur. D'autres gaz forment des produits hautement corrosifs au contact de la vapeur d'eau et endommagent le système de tuyauterie. La corrosion des équipements est également une cause de contamination.

Il est nécessaire d'éliminer le gaz de procédé de n'importe quelle partie du système de tuyauterie avant l'exposition à l'air ambiant. Les raisons de cela peuvent être énumérées comme suit :

• De nombreux gaz spéciaux sont hautement toxiques et présentent un grave danger pour la santé des travailleurs.
• Certains gaz sont hautement inflammables ou même auto-inflammables et présentent un risque d'incendie ou d'explosion.
• Certains gaz, en revanche, deviennent très corrosifs au contact de la vapeur d'eau dans l'air et endommagent les équipements et les installations.

Parmi les nombreuses études d'essais, de mesures, d'analyses et d'évaluations qu'elle a réalisées pour des entreprises de divers secteurs, notre organisation, avec son personnel formé et expert et ses équipements technologiques de pointe, contribue à déterminer l'efficacité d'échange / rejet de gaz du système de distribution de gaz au sein de la champ d'application de la norme SEMI F80. Il fournit également des services de test pour