Lo standard “SEMI F104-2020 Metodo di prova per la valutazione del contributo delle particelle dei componenti utilizzati nei sistemi di distribuzione di acqua ultrapura e prodotti chimici liquidi”, sviluppato nell'ambito del programma International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), descrive le specifiche tecniche e i metodi di prova per i componenti per valutare e confrontare il contributo delle particelle al flusso di fluido di acqua ultrapura (UPW).
I limiti dell'attuale metrologia delle particelle rendono il controllo delle particelle estremamente impegnativo nell'industria dei semiconduttori avanzati. A questo proposito, SEMI F104 è un valido standard industriale per il controllo delle particelle nei componenti critici. Questo standard è stato completamente rivisto per affrontare i contributi di particelle ammissibili provenienti dai componenti utilizzati nella gestione di liquidi ultrapuri impiegati nella lavorazione dei semiconduttori. Recenti aggiornamenti hanno modificato la procedura per adattarsi a componenti di dimensioni maggiori, aggiunto procedure di prova specifiche per componenti di dimensioni maggiori e aggiunto valori specifici per i contributi di particelle ammissibili. La differenza significativa tra il volume e l'area superficiale dei componenti quando si confrontano componenti di piccole e grandi dimensioni implica l'applicazione di protocolli di prova diversi. Pertanto, lo standard include requisiti specifici per le portate utilizzate su una gamma di componenti da testare. Ulteriori chiarimenti sulle procedure di prova esistenti e l'aggiunta di nuove procedure sono stati incorporati nello standard rivisto, insieme a valori specifici per i componenti in tutta la gamma dimensionale.
I due metodi di prova definiti nella presente norma per valutare il contributo delle particelle sono:
Questi metodi di prova si applicano ai componenti di sistemi chimici liquidi e di acqua ultrapura progettati per l'uso in dispositivi di produzione di semiconduttori e apparecchiature ausiliarie. La presente norma descrive i metodi per misurare la contaminazione da particolato nei componenti quando si utilizza acqua ultrapura come mezzo di prova. Ai fini della presente norma, l'acqua ultrapura è definita come acqua che soddisfa i requisiti minimi indicati nella stessa. Questi metodi utilizzano un contatore ottico di particelle liquido in situ per misurarne le prestazioni.
I prodotti realizzati per applicazioni ad altissima purezza, come l'industria dei semiconduttori o farmaceutica, devono garantire l'assenza di contaminanti durante la lavorazione. Le valvole utilizzate in questi servizi devono offrire i massimi livelli di purezza e prestazioni. I test di analisi delle tracce vengono eseguiti in laboratori di prova indipendenti e accreditati utilizzando risciacqui con acqua ultrapura. I risultati dei test devono dimostrare che le valvole contribuiscono a rilasciare una quantità di particolato significativamente inferiore ai limiti massimi consentiti dallo standard SEMI F104, confermandone l'idoneità per applicazioni ultrapure.
In breve, lo standard SEMI F104 è essenziale nei settori dei semiconduttori e dell'alta tecnologia, dove anche una contaminazione microscopica può causare guasti significativi del prodotto o perdite di prestazioni. Questo standard contribuisce a garantire che i materiali utilizzati nelle camere bianche siano idonei e conformi ai rigorosi requisiti di questi ambienti ultra-puliti.
Questa norma fornisce un quadro standardizzato per il riferimento ai dati di prova per i materiali utilizzati nella costruzione di camere bianche. Si concentra su pulizia, degassamento, formazione di particelle e compatibilità chimica. L'obiettivo è supportare la selezione di materiali che riducano al minimo i rischi di contaminazione e supportino processi di produzione di semiconduttori affidabili.
Lo standard SEMI F104 delinea le proprietà e i dati chiave da considerare nella valutazione dei materiali da utilizzare nelle camere bianche. Tra questi:
Lo standard SEMI F104 è applicabile a una varietà di materiali da costruzione utilizzati nelle camere bianche e nei mini-ambienti, tra cui:
Ciascuno di questi materiali deve essere valutato per verificarne la conformità ai requisiti delle camere bianche, utilizzando protocolli di prova riconosciuti.
Lo standard SEMI F104 è fondamentale per i settori della produzione di semiconduttori e di alta tecnologia per i seguenti motivi principali:
Questo standard standardizza il modo in cui vengono valutati i materiali, riducendo il rischio di contaminazione che potrebbe causare difetti o guasti nei microchip e nei chip.
Questa coerenza garantisce prestazioni affidabili e riduce la possibilità di introdurre materiali incompatibili o di qualità inferiore.
Questo standard aiuta i produttori a soddisfare standard qualitativi sempre più rigorosi, contribuendo all'affidabilità dei processi e a tassi di resa più elevati.
Ciò riduce l'incertezza e garantisce che tutte le parti interessate comprendano le specifiche richieste in termini di prestazioni e pulizia.
Facendo riferimento a questo standard, i produttori possono realizzare sistemi per camere bianche conformi ai più ampi requisiti normativi e di settore.
Di conseguenza, lo standard SEMI F104 svolge un ruolo fondamentale nei settori ad alta precisione, dove l'integrità delle camere bianche è imprescindibile. Contribuisce a proteggere gli ambienti di produzione sensibili, garantisce prestazioni costanti dei materiali e, in definitiva, supporta la produzione di dispositivi a semiconduttore affidabili e di alta qualità.
La nostra organizzazione, che da anni supporta aziende di tutti i settori attraverso un'ampia gamma di attività di test, misurazione, analisi e valutazione, si avvale di un team di collaboratori altamente qualificati che seguono da vicino gli sviluppi scientifici e tecnologici globali e si impegnano costantemente per il miglioramento continuo. In questo contesto, forniamo anche servizi di test in conformità allo standard SEMI F104-2020 per il "Metodo di prova per la valutazione del contributo particellare dei componenti utilizzati nei sistemi di distribuzione di acqua ultrapura e prodotti chimici liquidi".
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