SEMI F115 Ultra Yüksek Saflıkta Kimyasal Dağıtım Sistemleri ve Bileşenlerinin Islak Yüzeylerinde Bulunan Metalik Elementlerin Belirlenmesi İçin Test Yöntemi

Dünya çapındaki yarı iletken, entegre devreler, transistörler, diyotlar ve düz panel ekran gibi endüstrilerin yararına faaliyetler içeren ve Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F115 standardında, ultra yüksek saflıkta (UHP) kimyasal dağıtım sistemleri ve bileşenlerinin ıslanan yüzeylerinde bulunan metalik elementleri belirlemeye yönelik bir test yöntemi tanımlanmaktadır.

Bu test yöntemi, ultra yüksek saflıkta kimyasal dağıtım sistemleri ve bileşenleri için geçerlidir. Test örnekleri arasında valfler, regülatörler, filtreler, kütle akış kontrolörleri, boru tesisatı, kaynak tertibatları ve yüz conta tertibatları bulunmaktadır. Bu test yöntemi aynı zamanda, bir montaj veya imalat alanından kaynaklanan kontaminasyonu tespit etmek için de kullanılabilir.

Söz konusu standart, ıslanan yüzeylerde bulunan ultra saf su ile çıkarılabilir metalik elementlerin çıkarılması ve ölçülmesi yöntemini ayrıntıları ile vermektedir. Bu test yöntemi, çeşitli yıkama veya temizleme işlemlerinin etkinliğini değerlendirmek için de kullanılabilir.

Ultra yüksek saflıkta gazlar yarı iletken endüstrisinde yaygın olarak kullanılmaktadır. Ultra yüksek saflık genellikle kirlilik seviyesi veya nem gibi herhangi bir uçucu molekül için 100 ppb’den az konsantrasyon olarak tanımlanır.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

• SEMI E49.2 Yarı iletken ekipmanlarda sıvı kimyasal sistemler için kullanılan polimer gruplarının kalifikasyonu için kılavuz
• SEMI E49.8 Yarı iletken imalat ekipmanlarında yüksek saflıkta ve ultra yüksek saflıkta gaz dağıtım sistemleri kılavuzu
• SEMI F20 Genel amaçlı, yüksek saflıkta ve ultra yüksek saflıkta yarı iletken imalat uygulamalarında kullanılan bileşenler için 316L paslanmaz çelik çubuk, dövme parçalar, ekstrüde şekiller, plaka ve borular için spesifikasyon
• SEMI F63 Yarı iletken işlemede kullanılan ultra saf su kılavuzu

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F115 standardı kapsamında ultra yüksek saflıkta kimyasal dağıtım sistemleri ve bileşenlerinin ıslak yüzeylerinde bulunan metalik elementlerin belirlenmesine yönelik test hizmetleri de vermektedir.