Dünya çapındaki yarı iletken, entegre devreler, transistörler, diyotlar ve düz panel ekran gibi endüstrilerin yararına faaliyetler içeren ve Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F77 standardında, yarı iletken üretimi için aşındırıcı gaz dağıtım sistemlerinde kullanılması amaçlanan bileşenlerin ıslak yüzeylerinin oyuk korozyonuna karşı göreceli direncini belirlemeye yönelik bir test yöntemi tanımlanmaktadır. Bu test yöntemi, Amerikan Test ve Malzeme Kuruluşu (ASTM) tarafından yayınlanan ASTM G150 standardının bir uyarlamasıdır (ASTM G150-18 Paslanmaz çeliklerin ve ilgili alaşımların elektrokimyasal kritik çukurlaşma sıcaklığı testi için standart test yöntemi). Bu standart ile ıslanan yüzeylerin korozyon performansını etkileyecek alaşım bileşimleri veya işlemler arasında ayrım yapılması amaçlanmıştır. SEMI F77 standardının ayrıntıları ASTM G150 standardında yer almaktadır ve bu test yönteminin uygulanması için ASTM G150 standardına başvurulması önerilmektedir.
SEMI F77 standardında açıklanan test yöntemi, aşındırıcı gaz sistemlerinde kullanılması amaçlanan, boruların ıslanan yüzeylerinin veya temsili bitmiş yüzeylerin test kuponlarının oyuk korozyon direncini sıralamak için kullanılan elektrokimyasal kritik çukurlaşma sıcaklığına dayalı bir prosedür içermektedir. Oyuk korozyonunun, yarı iletken gaz dağıtım sistemlerinde, özellikle kaynaklı ve aşındırıcı gazlara ve neme maruz kalan bileşenlerde ve borularda önemli bir korozyon başarısızlık modu olduğu bilinmektedir.
Kısaca SEMI F77 standardı test yöntemi, ASTM G150 standardı test yönteminin bir uyarlamasıdır ve uyarlama, tüp gibi gaz besleme sistemi bileşenlerinden kesilen kuponlar veya ıslak yüzey bölümleri üzerinde gerçekleştirmek için bir test yöntemi açıklamaktadır. Bu, sulu daldırma yöntemidir.
Bu standart hazırlanırken şu SEMI standardı referans alınmıştır:
Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F77 standardı kapsamında korozif gaz sistemlerinde kullanılan paslanmaz çelik yüzeylerin elektrokimyasal kritik çukurlaşma sıcaklığını belirlemeye yönelik test hizmetleri de vermektedir.