SEMI F113 Gaz Dağıtım Sistemlerinde Kullanılan Basınç Dönüştürücüleri İçin Test Yöntemi

Dünya çapındaki yarı iletken, entegre devreler, transistörler, diyotlar ve düz panel ekran gibi endüstrilerin yararına faaliyetler içeren ve Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) adı verilen bir uluslararası standartlar programı çerçevesinde geliştirilen SEMI F113 standardında, yarı iletken işleme için gaz dağıtım sistemlerinde kullanılan elektronik basınç dönüştürücüler için bir test yöntemi tanımlanmaktadır.

Açıklanan test yöntemi, gaz dağıtım sistemlerinde 2757.9 veya daha az tam basınç aralığına sahip basınç dönüştücülerin sızıntı bütünlüğü, ısınma süresi, voltaj hassasiyeti, yanlışlık, doğrusallık, tekrarlanabilirlik, histerez, tekrar üretilebilirlik, termal katsayı, sapma, hızlandırılmış yaşam döngüsü ve prova basıncını test etme prosedürlerini içermektedir.

Bu standart hazırlanırken şu SEMI standartları referans alınmıştır:

SEMI C59 Azot için spesifikasyonlar ve yönergeler
SEMI E27 Kütle akış kontrol cihazı ve kütle akış ölçer doğrusallığı kılavuzu
SEMI E28 Kütle akış kontrolörünün basınç spesifikasyonları kılavuzu
SEMI E49 yüksek saflıkta ve ultra yüksek saflıkta borulama performansı, alt montajlar ve nihai montajlar için kılavuz
SEMI E56 Termal kütle akış kontrol cihazlarının doğruluk, doğrusallık, tekrarlanabilirlik, kısa süreli tekrar üretilebilirlik, histerez ve ölü bandının belirlenmesi için test yöntemi
SEMI E89 Ölçüm sistemi analizi (MSA) kılavuzu
SEMI F1 Yüksek saflıkta gaz boru sistemleri ve bileşenlerinin sızıntı bütünlüğü spesifikasyonu
SEMI F62 Ortam ve gaz sıcaklığı etkilerinden kütle akış kontrol cihazı performans özelliklerinin belirlenmesi için test yöntemi

Enerji teknolojisi, güvenilir bir enerji sistemi oluşturmak için basınç dönüştürücülerine güvenmektedir. Basınç dönüştürücüleri biyogaz, doğal gaz ve daha fazlası için mükemmel bir çözümdür. Bu enerji kaynaklarının, güvenli ve güvenilir olmasını sağlamak için basıncın ölçülmesi gerekir. Genel olarak gaz basıncını izlemesi gereken endüstriler, en küçük yanlış basınç hesaplamasının bile bir felaket yaratacağı karmaşık sistemlere sahip endüstrilerdir.

Kuruluşumuz, çeşitli sektörlerdeki işletmeler için verdiği sayısız test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları arasında, eğitimli ve uzman bir kadro ve gelişmiş teknolojik donanımı ile, SEMI F113 standardı kapsamında gaz dağıtım sistemlerinde kullanılan basınç dönüştürücüleri için test hizmetleri de vermektedir.