Стандартната практика ASTM E493/E493M-11 за детектори за течове, използващи масспектрометрични детектори за течове в режим на тестване отвътре навън, разработена от Американското дружество за тестване и материали (ASTM), описва процедури за тестване на полупроводници, херметически затворени релета, пиротехнически устройства и подобни устройства за течове през стените на корпуса преди тестване. Те могат да се използват с различни нива на чувствителност в зависимост от вътрешния обем, здравината на корпуса, времето, налично за подготовка за теста, и сорбционните свойства на материала на корпуса за хелий. В общата практика границите на чувствителност за хелий варират от 10−10 до 10−6 Pa m³ / s, въпреки че в някои случаи тези граници могат да бъдат превишени с няколко десетилетия в двете посоки.
Този стандарт определя два метода за изпитване:
За целите на този стандарт се прилагат термините и определенията в стандарта „ASTM E1316-16 Стандартна терминология за безразрушителен контрол“.
Методите за изпитване, обсъдени в този стандарт, изискват изпитваното парче да съдържа хелий при изчислимо налягане по време на изпитването. Ако устройството не може да бъде запечатано с известно хелиево налягане вътре, е необходимо частта да се бомбардира в хелиева камера под налягане, за да се въведе хелий в тестовата част, ако има теч.
След като изпитваното парче е подложено на хелиево налягане, то се поставя в корпус, който след това се вакуумира и се свързва с детектор за течове с масспектрометър. В случай на теч, от детектора за течове се получава изходен сигнал. Ако е необходимо да се знае действителната скорост на изтичане на изпитваното парче, тя трябва да се изчисли от изходното отчитане и параметрите на изпитването.
Методи А или Б са полезни за изпитване на херметически затворени устройства с вътрешни обеми. Максимално допустимите скорости на течове за микроелектронни устройства са установени, за да се гарантира, че характеристиките на работа няма да бъдат засегнати от проникване на въздух, водни пари или други замърсители по време на очаквания прогнозен живот. Трябва да се внимава да се контролира налягането при бомбардиране, времето за бомбардиране и времето за изчакване след бомбардиране, в противен случай резултатите могат да варират значително.
Повърхностни пукнатини, боя, мръсотия, полимерни уплътнения могат да абсорбират хелий по време на процедурата по бомбардиране и да допринесат за изходния сигнал в детектора за течове. Освен ако този процес не е равномерен и последователен, т.е. освен ако херметични изпитвателни образци не дават винаги един и същ хелиев сигнал, чувствителността на теста е ограничена от фоновия сигнал от абсорбирания хелий. Една или и двете процедури на промиване с азот или изпичане на частите в продължение на 30 минути между бомбардирането и тестването понякога помагат за намаляване на този фонов сигнал.
В случай на големи течове или много малки вътрешни обеми в изпитваните образци, хелий, който евентуално е бил запечатан или бомбардиран в изпитвания образец, може да е изтекъл, преди да бъде тестван в детектора за течове с масспектрометър. При големи течове тестването трябва да се извърши в рамките на няколко секунди след отстраняване на частите от бомбата или при големи течове трябва да се използва алтернативен метод за тестване: тестване с мехурчета, течно бомбардиране и промяна на теглото. Ако методът за откриване на големи течове използва течност, това трябва да се направи след теста за теч с хелий, за да се избегне запечатването на малки течове.
При извършване на тези тестове се използва детектор за течове с масспектрометър. Освен това, помпата за грубо почистване се използва за отстраняване на въздух от изпитвателната камера, в която е поставена изпитваната проба. Този апарат има средства за измерване на налягане и подходящи клапани за свързване към детектора за течове след евакуиране на изпитвателната камера. От друга страна, при тестовете се използва съд под налягане. Този контейнер може безопасно да издържи необходимото налягане за бомбардиране с хелий. Съдовете под налягане трябва да отговарят на приложимите правила за безопасност за съдове под налягане.
Тестовете изискват също следните материали:
При прилагане на метод на изпитване А (бомбардиране), количество запечатани части, които ще бъдат изпитвани, се поставят в съд под налягане. След това съдът под налягане се промива с хелий или се евакуира (последното обикновено е за предпочитане). Контейнерът е запечатан с хелий и е подложен на налягане до определеното. Задържа се при определеното налягане за времето, необходимо за осигуряване на желаната чувствителност и налягане на изпитването. Хелий се освобождава на значително разстояние от детектора за течове. (Може да се отведе по тръбопровод извън сградата или да се изпусне в резервоар, за да се избегне повишаване на атмосферното налягане на хелия в тестовата зона). Изпитваните проби се изваждат от съда под налягане и се промиват със сух въздух или азот без хелий, за да се отстрани абсорбираният от повърхността хелий. Времето за измиване може да се определи експериментално.
Обектите, които ще бъдат тествани, се поставят поотделно или на групи в зоната за тестване на детектора за течове на масспектрометъра и се тестват. Записват се зададената скорост на изтичане на всяка част и времето в секунди, през което частта излиза от съда под налягане. Ако няколко части се тестват едновременно и детекторът за течове с масспектрометър покаже теч, частите се тестват поотделно и се отбелязват скоростта на теч на всяка част и времето в секунди, през което е била извадена от съда под налягане. За да се намери действителната скорост на изтичане на дадена част, се използва опростеното уравнение, дадено в стандарта, приемайки молекулярен поток.
Нашата организация разполага със силен екип, който следи отблизо развитието в областта на науката и технологиите в света и непрекъснато се усъвършенства. Сред многобройните проучвания за изпитване, измерване, анализ и оценка, предоставяни на предприятия в различни сектори, има и услуги за изпитване в съответствие със стандарта „ASTM E493/E493M-11 Стандартна практика за течове с използване на масспектрометричен детектор за течове в режим на изпитване отвътре навън“.
Можете да ни помолите да попълним формуляра, за да получим среща, да получим по-подробна информация или да поискаме оценка.
