Standar Praktik ASTM E493/E493M-11 untuk Detektor Kebocoran Menggunakan Detektor Kebocoran Spektrometer Massa dalam Mode Uji Inside-Out, yang dikembangkan oleh American Society for Testing and Materials (ASTM), menjelaskan prosedur untuk menguji semikonduktor, relai yang disegel secara hermetis, perangkat piroteknik, dan perangkat serupa untuk kebocoran melalui dinding penutup sebelum pengujian. Prosedur ini dapat digunakan pada berbagai tingkat sensitivitas tergantung pada volume internal, kekuatan penutup, waktu yang tersedia untuk persiapan pengujian, dan sifat sorpsi material penutup terhadap helium. Dalam praktik umum, batas sensitivitas untuk helium berkisar dari 10−10 hingga 10−6 Pa m³ / s, meskipun batas ini dapat dilampaui beberapa dekade ke arah mana pun dalam beberapa kasus.
Standar ini mendefinisikan dua metode pengujian:
Untuk keperluan standar ini, istilah dan definisi dalam standar “Terminologi Standar ASTM E1316-16 untuk pengujian non-destruktif” berlaku.
Metode pengujian yang dibahas dalam standar ini mengharuskan benda uji berisi helium pada tekanan yang dapat dihitung selama pengujian. Jika perangkat tidak dapat disegel dengan tekanan helium yang diketahui di dalamnya, maka perlu untuk membombardir bagian tersebut dalam ruang tekanan helium untuk memasukkan helium ke dalam bagian yang diuji jika terjadi kebocoran.
Setelah benda uji dikenai tekanan helium, benda tersebut ditempatkan dalam wadah yang kemudian dievakuasi dan dihubungkan ke detektor kebocoran spektrometer massa. Jika terjadi kebocoran, sinyal keluaran diterima dari detektor kebocoran. Jika tingkat kebocoran aktual pada benda uji perlu diketahui, hal ini harus dihitung dari pembacaan keluaran dan parameter uji.
Metode A atau B berguna untuk menguji perangkat tertutup rapat dengan volume internal. Tingkat kebocoran maksimum yang dapat diterima untuk perangkat mikroelektronik ditetapkan untuk memastikan bahwa karakteristik kinerja tidak akan terpengaruh oleh masuknya udara, uap air, atau kontaminan lain selama perkiraan masa pakainya. Perhatian harus dilakukan untuk mengendalikan tekanan pengeboman, waktu pengeboman, dan waktu tunggu setelah pengeboman, jika tidak, hasilnya mungkin sangat bervariasi.
Retakan permukaan, cat, kotoran, segel polimer dapat menyerap helium selama prosedur pengeboman dan berkontribusi pada sinyal keluaran di detektor kebocoran. Kecuali proses ini seragam dan konsisten, yaitu kecuali benda uji antibocor selalu memberikan sinyal helium yang sama, sensitivitas pengujian dibatasi oleh sinyal latar belakang dari helium yang diserap. Salah satu atau kedua prosedur pembilasan nitrogen atau pemanggangan bagian-bagian selama 30 menit antara pemboman dan pengujian terkadang membantu mengurangi sinyal latar belakang ini.
Dalam kasus kebocoran besar atau volume internal yang sangat kecil pada benda uji, helium yang mungkin disegel atau dibombardir ke dalam benda uji mungkin telah keluar sebelum diuji dalam detektor kebocoran spektrometer massa. Untuk kebocoran besar, pengujian harus dilakukan dalam beberapa detik setelah melepaskan bagian-bagian dari bom, atau untuk kebocoran besar, metode pengujian alternatif harus digunakan: pengujian gelembung, pengeboman cairan, dan perubahan berat. Jika metode pencarian kebocoran besar menggunakan cairan, hal itu harus dilakukan setelah uji kebocoran helium untuk menghindari penyegelan kebocoran kecil.
Saat melakukan pengujian ini, detektor kebocoran spektrometer massa digunakan. Selain itu, pompa roughing digunakan untuk mengeluarkan udara dari wadah uji tempat benda uji ditempatkan. Peralatan ini dilengkapi alat pengukur tekanan dan katup yang sesuai untuk menghubungkan ke detektor kebocoran setelah mengosongkan ruang uji. Di sisi lain, bejana tekan digunakan dalam pengujian. Wadah ini dapat dengan aman menahan tekanan bom helium yang dibutuhkan. Bejana tekan harus memenuhi kode keselamatan yang berlaku untuk bejana tekan.
Pengujian ini juga memerlukan bahan-bahan berikut:
Bila menggunakan metode uji A (pengeboman), sejumlah bagian tertutup yang akan diuji ditempatkan dalam bejana bertekanan. Bejana tekan kemudian dibilas dengan helium atau dievakuasi (yang terakhir umumnya lebih disukai). Wadah disegel dengan helium dan diberi tekanan hingga mencapai tekanan yang ditentukan. Ia ditahan pada tekanan tertentu selama waktu yang diperlukan untuk memastikan sensitivitas dan tekanan uji yang diinginkan. Helium dilepaskan pada jarak yang cukup jauh dari detektor kebocoran. (Dapat disalurkan keluar gedung atau dilepaskan ke tangki penampungan untuk menghindari peningkatan tekanan helium sekitar di area pengujian). Benda uji dikeluarkan dari bejana bertekanan dan dibilas dengan udara kering bebas helium atau nitrogen untuk menghilangkan helium yang terserap dari permukaan. Waktu pencucian dapat ditentukan secara eksperimental.
Objek yang akan diuji ditempatkan secara individual atau kelipatan di area uji detektor kebocoran spektrometer massa dan diuji. Tingkat kebocoran yang ditentukan pada setiap bagian dan waktu dalam detik saat bagian tersebut keluar dari bejana tekan dicatat. Jika beberapa bagian diuji secara bersamaan dan detektor kebocoran spektrometer massa menunjukkan adanya kebocoran, bagian-bagian tersebut diuji secara individual dan laju kebocoran setiap bagian serta waktu dalam detik saat bagian tersebut dikeluarkan dari bejana tekan dicatat. Untuk menemukan tingkat kebocoran aktual pada bagian tertentu, persamaan sederhana yang diberikan dalam standar dengan asumsi aliran molekuler digunakan.
Organisasi kami memiliki staf yang kuat yang mengikuti dengan cermat perkembangan bidang sains dan teknologi di dunia dan terus-menerus meningkatkan diri. Di antara berbagai pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi yang disediakan untuk bisnis di berbagai sektor, ada juga layanan pengujian sesuai dengan standar “Praktik standar ASTM E493/E493M-11 untuk kebocoran menggunakan detektor kebocoran spektrometri massa dalam mode uji dalam-luar”.
Anda dapat meminta kami untuk mengisi formulir kami untuk mendapatkan janji, untuk mendapatkan informasi lebih lanjut atau untuk meminta evaluasi.
