
Стандарт ASTM E498/E498M-11 «Процедура обнаружения утечек с использованием масс-спектрометра-детектора утечек или анализатора остаточных газов в режиме трассирующего зонда», разработанный Американским обществом по испытанию материалов (ASTM), описывает процедуры проверки и определения местоположения источников утечек газа с давлением 1 × 10−8 Па· м³ / с или выше. Эти испытания могут быть проведены на любом проверяемом объекте, который может быть эвакуирован и к которому можно применять гелий или другой трассирующий газ.

В настоящем стандарте описаны три метода испытаний:
Для целей настоящего стандарта применяются термины и определения, содержащиеся в стандарте «ASTM E1316-16 Стандартная терминология для неразрушающего контроля».
Описанные в данном стандарте методы испытаний требуют использования гелиевого течеискателя, способного обнаруживать утечку в пределах 1 × 10−9 Па ·м³ / с.
Метод испытаний А применяется для испытания объектов на герметичность с использованием гелия, из которых можно за приемлемое время нагнетать давление до приемлемого испытательного значения с помощью насосов-течеискателей. Для этого предмет должен быть чистым и сухим. Кроме того, для работы с большими объемами или относительно грязными устройствами с масс-спектрометрическим течеискателем можно использовать вспомогательные вакуумные насосы с большей производительностью, чем в масс-спектрометрическом течеискателе. В этих условиях чувствительность контроля герметичности снижается.
Метод испытаний B применяется на оборудовании для испытаний на герметичность, которое может обеспечивать собственный вакуум (т. е. оборудование со встроенной насосной системой) по крайней мере до уровня в несколько сотен паскалей или ниже.
Если метод испытания C позволяет создавать внутреннее давление ниже 2 × 10−2 Па при наличии утечек , то эти утечки можно обнаружить и оценить с помощью анализатора остаточных газов или спектрометрической трубки и контрольных образцов обычного масс-спектрометра-детектора утечек. В этом случае крайне важно, чтобы утечка находилась в пределах диапазона чувствительности спектрометра анализатора остаточных газов или масс-спектрометра-детектора утечек при существующих условиях в вакуумной системе.
Метод испытаний А является наиболее часто используемым методом для испытания на герметичность компонентов, которые могут быть конструктивно разгружены до давления 0,1 Па. Испытание небольших компонентов может быть связано с калиброванными утечками и фактической измеренной скоростью утечки, или приемка может основываться на максимально допустимой утечке. Для большинства производственных нужд приемка основана на приемке деталей, утечка которых меньше установленного стандарта, что гарантирует безопасную работу в течение ожидаемого срока службы компонента. Необходимо позаботиться о том, чтобы калибровка больших систем проводилась с использованием эталонной утечки в репрезентативном месте испытательного объема. Скорость утечки определяется путем расчета чистого выигрыша или убытка от утечки в испытуемом образце, которая может привести к отказу в течение ожидаемого срока службы устройства.
Метод испытаний B используется для проверки вакуумных систем в качестве этапа окончательного тестирования новой системы или в качестве метода технического обслуживания оборудования, используемого для производства, испытаний на воздействие окружающей среды или кондиционирования деталей. Поскольку объем, как правило, большой, следует проверить чувствительность системы, а также время отклика. Разделив объем системы в литрах на скорость вакуумного насоса в л/с, получаем время отклика, необходимое для достижения 63 процентов от общего сигнала. Время отклика, превышающее несколько секунд, затрудняет обнаружение утечек.
Метод испытаний C следует использовать только в том случае, если нет подходящего способа подключения течеискателя к выходу высоковакуумного насоса. Если используется гелиевый течеискатель, а высоковакуумный насос представляет собой ионный насос или крионасос, проверку на герметичность лучше всего проводить во время чернового цикла, поскольку эти насосы оставляют относительно высокий уровень гелия в камере высокого вакуума. Это позволит скрыть все утечки, кроме самых крупных, а остаточный газ быстро заполнит насосы.
Последовательные утечки с неоткачиваемым объемом между ними представляют собой сложную, даже неразрешимую проблему при проверке герметичности с помощью гелия. Хотя следовые количества газа позволяют гелию довольно легко проникнуть в первую утечку, поскольку разница давлений гелия по обе стороны первой утечки составляет приблизительно одну атмосферу, для накопления парциального давления гелия в объеме между двумя утечками и, следовательно, для попадания в вакуумную систему достаточного количества гелия, которое можно будет обнаружить с помощью масс-спектрометра, могут потребоваться часы. Такие утечки часто происходят при следующих условиях:
Наша организация имеет сильный коллектив, который внимательно следит за развитием событий в области науки и техники в мире и постоянно совершенствуется. Среди многочисленных испытаний, измерений, анализа и оценочных исследований, предоставляемых предприятиям различных секторов, также имеются услуги по испытаниям в соответствии со стандартом «ASTM E498 E498/E498M-11 Стандартная практика обнаружения утечек с использованием масс-спектрометрического течеискателя или анализатора остаточных газов в режиме трассирующего зонда».
