มาตรฐาน ASTM E493/E493M-11 สำหรับเครื่องตรวจจับการรั่วไหลโดยใช้เครื่องตรวจจับการรั่วไหลแบบแมสสเปกโทรเมตรีในโหมดทดสอบแบบจากภายในสู่ภายนอก ซึ่งพัฒนาโดยสมาคมการทดสอบและวัสดุแห่งอเมริกา (ASTM) อธิบายขั้นตอนการทดสอบเซมิคอนดักเตอร์ รีเลย์ที่ปิดผนึกอย่างแน่นหนา อุปกรณ์ดอกไม้ไฟ และอุปกรณ์ที่คล้ายกันสำหรับการรั่วไหลผ่านผนังของตัวเครื่องก่อนการทดสอบ สามารถใช้งานได้ในระดับความไวที่แตกต่างกัน ขึ้นอยู่กับปริมาตรภายใน ความแข็งแรงของตัวเครื่อง เวลาที่มีสำหรับการเตรียมการทดสอบ และคุณสมบัติการดูดซับของวัสดุตัวเครื่องสำหรับฮีเลียม ในทางปฏิบัติทั่วไป ขีดจำกัดความไวสำหรับฮีเลียม มีช่วงตั้งแต่ 10⁻¹⁰ถึง 10⁻⁶ Pa m³ / s แม้ว่าขีดจำกัดเหล่านี้อาจเกินได้หลายสิบในทั้งสองทิศทางในบางกรณี
มาตรฐานนี้กำหนดวิธีการทดสอบสองวิธี:
สำหรับวัตถุประสงค์ของมาตรฐานนี้ คำศัพท์และคำจำกัดความในมาตรฐาน “คำศัพท์มาตรฐาน ASTM E1316-16 สำหรับการทดสอบแบบไม่ทำลาย” จะมีผลใช้บังคับ
วิธีทดสอบที่กล่าวถึงในมาตรฐานนี้กำหนดให้ชิ้นทดสอบต้องมีฮีเลียมภายใต้ความดันที่คำนวณได้ระหว่างการทดสอบ หากไม่สามารถปิดผนึกอุปกรณ์โดยมีแรงดันฮีเลียมที่ทราบอยู่ภายในได้ จำเป็นต้องยิงชิ้นส่วนนั้นเข้าไปในห้องแรงดันฮีเลียมเพื่อเติมฮีเลียมเข้าไปในส่วนทดสอบหากมีการรั่วไหล
หลังจากที่ชิ้นทดสอบได้รับแรงดันด้วยฮีเลียมแล้ว จะถูกวางไว้ในตัวเรือนที่อพยพอากาศออกแล้วจึงต่อเข้ากับเครื่องตรวจจับการรั่วไหลของเครื่องแมสสเปกโตรมิเตอร์ ในกรณีที่เกิดการรั่วไหล จะรับสัญญาณเอาต์พุตจากเครื่องตรวจจับการรั่วไหล หากจำเป็นต้องทราบอัตราการรั่วไหลที่แท้จริงของชิ้นทดสอบ จะต้องคำนวณจากค่าที่อ่านได้และพารามิเตอร์การทดสอบ
วิธีการ A หรือ B มีประโยชน์สำหรับการทดสอบอุปกรณ์ปิดผนึกที่มีปริมาตรภายใน อัตราการรั่วไหลสูงสุดที่ยอมรับได้สำหรับอุปกรณ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ได้รับการกำหนดขึ้นเพื่อให้แน่ใจว่าคุณลักษณะด้านประสิทธิภาพจะไม่ถูกกระทบจากการเข้ามาของอากาศ ไอน้ำ หรือสารปนเปื้อนอื่นๆ ในระหว่างอายุการใช้งานที่คาดไว้ ต้องระมัดระวังในการควบคุมแรงดันการทิ้งระเบิด เวลาการทิ้งระเบิด และระยะเวลาการรอหลังการทิ้งระเบิด มิฉะนั้นผลลัพธ์อาจแตกต่างกันอย่างมาก
รอยแตกร้าวบนพื้นผิว สี สิ่งสกปรก และซีลโพลีเมอร์สามารถดูดซับฮีเลียมในระหว่างขั้นตอนการทิ้งระเบิดและส่งผลต่อสัญญาณเอาต์พุตในเครื่องตรวจจับการรั่วไหล เว้นแต่กระบวนการนี้จะสม่ำเสมอและสอดคล้องกัน นั่นคือ เว้นแต่ชิ้นทดสอบที่ป้องกันการรั่วไหลจะให้สัญญาณฮีเลียมเดียวกันเสมอ ความไวในการทดสอบจะถูกจำกัดด้วยสัญญาณพื้นหลังจากฮีเลียมที่ดูดซับ ขั้นตอนใดขั้นตอนหนึ่งหรือทั้งสองขั้นตอนของการล้างไนโตรเจนหรือการอบชิ้นส่วนเป็นเวลา 30 นาทีระหว่างการยิงและการทดสอบบางครั้งอาจช่วยลดสัญญาณพื้นหลังนี้ได้
ในกรณีที่มีการรั่วไหลจำนวนมากหรือปริมาตรภายในที่น้อยมากในชิ้นทดสอบ ฮีเลียมที่อาจถูกปิดผนึกหรือถูกยิงเข้าไปในชิ้นทดสอบอาจจะหลุดออกไปก่อนที่จะได้รับการทดสอบในเครื่องตรวจจับการรั่วไหลของเครื่องแมสสเปกโตรมิเตอร์ สำหรับการรั่วไหลครั้งใหญ่ ควรทำการทดสอบภายในเวลาไม่กี่วินาทีหลังจากนำชิ้นส่วนออกจากระเบิด หรือสำหรับการรั่วไหลครั้งใหญ่ ควรใช้วิธีการทดสอบแบบอื่น ได้แก่ การทดสอบฟองอากาศ การทิ้งระเบิดด้วยของเหลว และการเปลี่ยนน้ำหนัก หากใช้วิธีการค้นหาจุดรั่วขนาดใหญ่โดยใช้ของเหลว ควรทำหลังจากการทดสอบจุดรั่วด้วยฮีเลียม เพื่อหลีกเลี่ยงการปิดรอยรั่วขนาดเล็ก
ในขณะดำเนินการทดสอบเหล่านี้ จะมีการใช้เครื่องตรวจจับการรั่วไหลด้วยเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวล นอกจากนี้ ปั๊มขัดหยาบยังใช้เพื่อไล่อากาศออกจากห้องทดสอบซึ่งวางชิ้นทดสอบไว้ อุปกรณ์นี้มีเครื่องวัดแรงดันและวาล์วที่เหมาะสมสำหรับการเชื่อมต่อกับเครื่องตรวจจับการรั่วไหลหลังจากการอพยพออกจากห้องทดสอบ ในทางกลับกัน ภาชนะแรงดันจะถูกใช้ในการทดสอบ ภาชนะนี้สามารถทนต่อแรงดันการทิ้งระเบิดด้วยฮีเลียมตามที่กำหนดได้อย่างปลอดภัย ภาชนะแรงดันต้องเป็นไปตามมาตรฐานความปลอดภัยที่บังคับใช้กับภาชนะแรงดัน
การทดสอบยังต้องใช้สื่อต่อไปนี้ด้วย:
เมื่อใช้การทดสอบวิธี A (การทิ้งระเบิด) ชิ้นส่วนที่ปิดสนิทจำนวนหนึ่งที่ต้องการทดสอบจะถูกวางไว้ในภาชนะแรงดัน จากนั้นจึงล้างภาชนะความดันด้วยฮีเลียมหรือทำการดูดอากาศออก (โดยทั่วไปวิธีหลังจะนิยมใช้) ภาชนะจะถูกปิดผนึกด้วยฮีเลียมและเพิ่มแรงดันตามความดันที่กำหนด จะถูกตรึงไว้ที่ความดันที่กำหนดเป็นเวลาตามที่ต้องการ เพื่อให้ได้ความไวและความดันในการทดสอบที่ต้องการ ฮีเลียมจะถูกปล่อยออกมาจากระยะห่างที่เหมาะสมจากเครื่องตรวจจับการรั่วไหล (สามารถนำท่อออกจากอาคารหรือปล่อยลงในถังเก็บเพื่อหลีกเลี่ยงการเพิ่มแรงดันฮีเลียมโดยรอบในพื้นที่ทดสอบ) ชิ้นงานทดสอบจะถูกนำออกจากภาชนะความดัน และถูกฉีดล้างด้วยอากาศแห้งที่ปราศจากฮีเลียมหรือไนโตรเจนเพื่อกำจัดฮีเลียมที่ดูดซับจากพื้นผิว สามารถกำหนดเวลาการซักได้โดยการทดลอง
วัตถุที่ต้องทดสอบจะถูกวางแยกกันหรือหลายชิ้นในพื้นที่ทดสอบเครื่องตรวจจับการรั่วไหลของเครื่องแมสสเปกโตรมิเตอร์ และทดสอบ บันทึกอัตราการรั่วไหลที่ระบุของแต่ละชิ้นส่วนและเวลาเป็นวินาทีที่ชิ้นส่วนออกจากภาชนะแรงดัน หากทดสอบชิ้นส่วนหลายชิ้นพร้อมกันและเครื่องตรวจจับการรั่วไหลของเครื่องแมสสเปกโตรมิเตอร์ตรวจพบการรั่วไหล ชิ้นส่วนต่างๆ จะถูกทดสอบแยกกัน และบันทึกอัตราการรั่วไหลของชิ้นส่วนแต่ละชิ้นและเวลาเป็นวินาทีที่นำออกจากภาชนะแรงดัน ในการค้นหาอัตราการรั่วไหลที่แท้จริงของชิ้นส่วนใดชิ้นส่วนหนึ่ง จะใช้สมการที่เรียบง่ายในมาตรฐานโดยถือว่ามีการไหลของโมเลกุล
องค์กรของเรามีบุคลากรที่แข็งแกร่งซึ่งติดตามการพัฒนาในด้านวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีในโลกอย่างใกล้ชิดและปรับปรุงตัวเองอย่างต่อเนื่อง ในบรรดาผลงานการทดสอบ การวัด การวิเคราะห์ และการประเมินต่างๆ มากมายที่จัดทำขึ้นสำหรับธุรกิจในภาคส่วนต่างๆ ยังมีบริการทดสอบตามมาตรฐาน “ASTM E493/E493M-11 มาตรฐานแนวทางปฏิบัติสำหรับการรั่วไหลโดยใช้เครื่องตรวจจับการรั่วไหลด้วยแมสสเปกโตรมิเตอร์ในโหมดทดสอบจากภายในสู่ภายนอก” อีกด้วย
คุณสามารถขอให้เรากรอกแบบฟอร์มของเราเพื่อรับการนัดหมายเพื่อรับข้อมูลรายละเอียดเพิ่มเติมหรือเพื่อขอการประเมินผล
