International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) ပရိုဂရမ်၏ မူဘောင်အတွင်း တီထွင်ထားသည့် "SEMI F104-2020 Test method" သည် ultrapure water နှင့် liquid chemical distribution systems တွင်အသုံးပြုသော အစိတ်အပိုင်းများ၏ အမှုန်အမွှားပါဝင်မှုကို အကဲဖြတ်ခြင်းနည်းလမ်း" သည် International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) ပရိုဂရမ်ဘောင်အတွင်းမှ အစိတ်အပိုင်းများအတွက် နည်းပညာဆိုင်ရာ သတ်မှတ်ချက်များနှင့် စမ်းသပ်နည်းများကို ဖော်ပြထားပြီး အမှုန်အမွှားတုပ်ကွေးပါဝင်မှု (UPW) ultrapure ရေစီးဆင်းမှုကို နှိုင်းယှဉ်သုံးသပ်ပါသည်။
ရှိပြီးသား အမှုန်အမွှားများ၏ ကန့်သတ်ချက်များသည် အဆင့်မြင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းတွင် အမှုန်များကို ထိန်းချုပ်ရန် အလွန်စိန်ခေါ်မှုဖြစ်စေသည်။ ဤကိစ္စနှင့် ပတ်သက်၍၊ SEMI F104 သည် အရေးကြီးသော အစိတ်အပိုင်းများတွင် အမှုန်အမွှားထိန်းချုပ်မှုအတွက် အဖိုးတန်သော စက်မှုလုပ်ငန်းစံတစ်ခုဖြစ်သည်။ ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ဆောင်မှုတွင် အသုံးပြုသည့် အလွန်သန့်စင်သော အရည်များကို ကိုင်တွယ်ရာတွင် အသုံးပြုသည့် အစိတ်အပိုင်းများမှ ခွင့်ပြုထားသော အမှုန်အမွှားပါဝင်မှုများကို ဖြေရှင်းရန်အတွက် ဤစံနှုန်းကို အလုံးစုံပြန်လည်ပြင်ဆင်ထားပါသည်။ မကြာသေးမီက မွမ်းမံမှုများသည် ပိုကြီးသောအစိတ်အပိုင်းများကို လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေရန်၊ ပိုကြီးသောအစိတ်အပိုင်းများအတွက် သီးခြားစမ်းသပ်မှုလုပ်ထုံးလုပ်နည်းများကို ထပ်လောင်းပြီး ခွင့်ပြုနိုင်သော အမှုန်ပါဝင်မှုများအတွက် သတ်မှတ်ထားသောတန်ဖိုးများကို ထပ်လောင်းထည့်ထားသည်။ အစိတ်အပိုင်းများ၏ ထုထည်ပမာဏနှင့် မျက်နှာပြင်ဧရိယာကြား သိသာထင်ရှားသော ကွာခြားချက်မှာ သေးငယ်သော အစိတ်အပိုင်းများကို နှိုင်းယှဉ်သောအခါတွင် မတူညီသော စမ်းသပ်မှုပရိုတိုကောများကို အသုံးချရမည်ဟု ဆိုလိုသည်။ ထို့ကြောင့်၊ စံနှုန်းတွင် စမ်းသပ်ရမည့် အစိတ်အပိုင်းများစွာတွင် အသုံးပြုသည့် စီးဆင်းမှုနှုန်းများအတွက် သီးခြားလိုအပ်ချက်များ ပါဝင်သည်။ ရှိပြီးသားစမ်းသပ်မှုလုပ်ထုံးလုပ်နည်းများ၏နောက်ထပ်ရှင်းလင်းချက်များနှင့်လုပ်ထုံးလုပ်နည်းအသစ်များထပ်တိုးခြင်းကိုအရွယ်အစားအပိုင်းအခြားတစ်လျှောက်ရှိအစိတ်အပိုင်းများအတွက်သတ်မှတ်ထားသောတန်ဖိုးများနှင့်အတူပြန်လည်ပြင်ဆင်ထားသောစံနှုန်းများတွင်ထည့်သွင်းထားသည်။
အမှုန်ပါဝင်မှုကို အကဲဖြတ်ရန်အတွက် ဤစံတွင် သတ်မှတ်ထားသော စမ်းသပ်နည်းနှစ်ခုမှာ-
ဤစမ်းသပ်မှုနည်းလမ်းများသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့်ကိရိယာများနှင့် အရန်စက်ပစ္စည်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ဒီဇိုင်းထုတ်ထားသည့် အရည်ဓာတုနှင့် အထူးသန့်စင်သောရေစနစ် အစိတ်အပိုင်းများနှင့် သက်ဆိုင်ပါသည်။ အလွန်သန့်စင်သောရေကို စမ်းသပ်ကြားခံအဖြစ် အသုံးပြုသောအခါ အစိတ်အပိုင်းများမှ အမှုန်အမွှားများ ညစ်ညမ်းမှုကို တိုင်းတာသည့်နည်းလမ်းများကို ဤစံသတ်မှတ်ချက်တွင် ဖော်ပြထားသည်။ ဤစံနှုန်း၏ရည်ရွယ်ချက်များအတွက်၊ အလွန်သန့်စင်သောရေကို ဤစံတွင်ဖော်ပြထားသည့် အနိမ့်ဆုံးလိုအပ်ချက်များနှင့် ကိုက်ညီသောရေအဖြစ် သတ်မှတ်သည်။ ဤနည်းလမ်းများသည် စွမ်းဆောင်ရည်ကိုတိုင်းတာရန် in-situ အရည် optical particle counter ကိုအသုံးပြုသည်။
ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ သို့မဟုတ် ဆေးဝါးစက်ရုံများကဲ့သို့ အလွန်မြင့်မားသော သန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော အပလီကေးရှင်းများတွင် အသုံးပြုရန်အတွက် ထုတ်လုပ်ထားသော ထုတ်ကုန်များသည် စီမံဆောင်ရွက်နေစဉ်အတွင်း ညစ်ညမ်းမှုမရှိစေရန် သေချာစေရမည်။ ဤဝန်ဆောင်မှုများတွင် အသုံးပြုသည့် Valve များသည် အမြင့်ဆုံးအဆင့် သန့်စင်မှုနှင့် စွမ်းဆောင်ရည်ကို ပေးဆောင်ရမည်ဖြစ်သည်။ သဲလွန်စ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်း စမ်းသပ်ခြင်းကို အလွန်သန့်စင်သောရေဖြင့် ဆေးကြောခြင်းများကို အသုံးပြု၍ လွတ်လပ်ပြီး အသိအမှတ်ပြုထားသော စမ်းသပ်ဓာတ်ခွဲခန်းများတွင် လုပ်ဆောင်သည်။ စမ်းသပ်မှုရလဒ်များအရ အဆို့ရှင်များသည် SEMI F104 စံတွင် အများဆုံးခွင့်ပြုနိုင်သော ကန့်သတ်ချက်များထက် သိသိသာသာနည်းပါးသော အမှုန်အမွှားများကို ပံ့ပိုးပေးကြောင်း သက်သေပြရမည်ဖြစ်ပြီး၊ ၎င်းတို့သည် ultrapure အပလီကေးရှင်းများအတွက် သင့်လျော်ကြောင်း အတည်ပြုသည်။
အတိုချုပ်အားဖြင့်၊ SEMI F104 စံနှုန်းသည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် နည်းပညာမြင့်စက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် မရှိမဖြစ်လိုအပ်ပြီး မိုက်ခရိုစကုပ်ညစ်ညမ်းမှုပင်လျှင် သိသာထင်ရှားသောထုတ်ကုန်ချို့ယွင်းမှု သို့မဟုတ် စွမ်းဆောင်ရည်ဆုံးရှုံးမှုများအထိ ဖြစ်စေနိုင်သည်။ ဤစံနှုန်းသည် သန့်စင်ခန်းများတွင်အသုံးပြုသောပစ္စည်းများသည် ဤအလွန်သန့်ရှင်းသောပတ်ဝန်းကျင်၏တင်းကြပ်သောလိုအပ်ချက်များနှင့်ကိုက်ညီကြောင်းသေချာစေပါသည်။
ဤစံနှုန်းသည် သန့်စင်ခန်းဆောက်လုပ်ရေးတွင် အသုံးပြုသည့် ပစ္စည်းများအတွက် စမ်းသပ်ဒေတာကို ကိုးကားခြင်းအတွက် စံသတ်မှတ်ထားသော မူဘောင်ကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။ ၎င်းသည် သန့်ရှင်းမှု၊ ဓာတ်ငွေ့ထုတ်လွှတ်မှု၊ အမှုန်အမွှားဖွဲ့စည်းမှုနှင့် ဓာတုသဟဇာတဖြစ်မှုတို့ကို အလေးပေးသည်။ ရည်ရွယ်ချက်မှာ ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို လျှော့ချရန်နှင့် ယုံကြည်စိတ်ချရသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းထုတ်လုပ်သည့် လုပ်ငန်းစဉ်များကို ပံ့ပိုးပေးသည့် ပစ္စည်းများရွေးချယ်ခြင်းကို ပံ့ပိုးရန်ဖြစ်သည်။
SEMI F104 စံနှုန်းသည် သန့်စင်ခန်းများတွင် အသုံးပြုရန် ပစ္စည်းများကို အကဲဖြတ်ရာတွင် ထည့်သွင်းစဉ်းစားရမည့် အဓိကဂုဏ်သတ္တိများနှင့် ဒေတာများကို အကြမ်းဖျင်းဖော်ပြပါသည်။ ၎င်းတို့တွင်-
SEMI F104 စံနှုန်းသည် သန့်ရှင်းသောအခန်းများနှင့် အသေးစားပတ်ဝန်းကျင်များတွင် အသုံးပြုသည့် ဆောက်လုပ်ရေးပစ္စည်းအမျိုးမျိုးအတွက် အကျုံးဝင်သည်-
အသိအမှတ်ပြုထားသော စမ်းသပ်မှုပရိုတိုကောများကို အသုံးပြု၍ သန့်စင်ခန်းလိုအပ်ချက်များနှင့် လိုက်လျောညီထွေဖြစ်စေရန်အတွက် ဤပစ္စည်းများတစ်ခုစီကို အကဲဖြတ်ရပါမည်။
SEMI F104 စံနှုန်းသည် ဤသော့ချက်ကြောင့် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းနှင့် နည်းပညာမြင့်ကုန်ထုတ်လုပ်ငန်းများအတွက် အရေးကြီးသည်-
ဤစံနှုန်းသည် မိုက်ခရိုချစ်ပ်များနှင့် ချစ်ပ်များတွင် ချို့ယွင်းချက်များ သို့မဟုတ် ချို့ယွင်းမှုများကို ဖြစ်စေနိုင်သည့် ညစ်ညမ်းမှုအန္တရာယ်ကို လျှော့ချပေးသည့် ပစ္စည်းများအား မည်ကဲ့သို့ အကဲဖြတ်သည်ကို စံသတ်မှတ်သည်။
ဤညီညွတ်မှုသည် ယုံကြည်စိတ်ချရသောစွမ်းဆောင်ရည်ကို ပံ့ပိုးပေးပြီး သဟဇာတမဖြစ်သော သို့မဟုတ် အဆင့်မမီသောပစ္စည်းများကို မိတ်ဆက်နိုင်ခြေကို လျော့နည်းစေသည်။
ဤစံနှုန်းသည် ထုတ်လုပ်သူအား လုပ်ငန်းစဉ်ယုံကြည်စိတ်ချရမှုနှင့် မြင့်မားသောအထွက်နှုန်းများကို ပံ့ပိုးပေးခြင်းဖြင့် ပိုမိုတင်းကြပ်သော အရည်အသွေးစံနှုန်းများ ပြည့်မီစေရန် ကူညီပေးပါသည်။
၎င်းသည် မသေချာမရေရာမှုများကို လျှော့ချပေးပြီး သက်ဆိုင်သူအားလုံး လိုအပ်သော စွမ်းဆောင်ရည်နှင့် သန့်ရှင်းမှုဆိုင်ရာ သတ်မှတ်ချက်များကို နားလည်ကြောင်း သေချာစေသည်။
ဤစံနှုန်းကို ကိုးကားခြင်းဖြင့် ထုတ်လုပ်သူများသည် ပိုမိုကျယ်ပြန့်သော စည်းမျဉ်းစည်းကမ်းနှင့် လုပ်ငန်းလိုအပ်ချက်များကို လိုက်နာသည့် cleanroom စနစ်များကို တည်ဆောက်နိုင်သည်။
ရလဒ်အနေဖြင့်၊ SEMI F104 စံနှုန်းသည် ညှိနှိုင်းမရနိုင်သော တိကျမှုမြင့်မားသောစက်မှုလုပ်ငန်းများတွင် အရေးကြီးသောအခန်းကဏ္ဍမှ ပါဝင်ပါသည်။ ၎င်းသည် ထိလွယ်ရှလွယ်သော ကုန်ထုတ်လုပ်မှုပတ်ဝန်းကျင်ကို ကာကွယ်ရန်၊ တစ်သမတ်တည်းရှိသော ပစ္စည်းစွမ်းဆောင်ရည်ကို သေချာစေရန်နှင့် အရည်အသွေးမြင့်၊ ယုံကြည်စိတ်ချရသော တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးကိရိယာများ ထုတ်လုပ်ခြင်းကို ပံ့ပိုးပေးပါသည်။
စမ်းသပ်ခြင်း၊ တိုင်းတာခြင်း၊ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်းနှင့် အကဲဖြတ်ခြင်းလုပ်ငန်းများကို ကျယ်ပြန့်စွာလုပ်ဆောင်ခြင်းဖြင့် ကဏ္ဍအားလုံးတွင် နှစ်ပေါင်းများစွာ စီးပွားရေးလုပ်ငန်းများကို ပံ့ပိုးပေးနေသည့် ကျွန်ုပ်တို့၏အဖွဲ့အစည်းတွင် သိပ္ပံနှင့်နည်းပညာဆိုင်ရာ ကမ္ဘာလုံးဆိုင်ရာတိုးတက်မှုများကို အနီးကပ်လိုက်လျှောက်ပြီး ၎င်းတို့ကို အဆက်မပြတ်တိုးတက်နေသော ဝန်ထမ်းအင်အားများရှိသည်။ ဤအခြေအနေတွင်၊ ကျွန်ုပ်တို့သည် "Ultrapure Water နှင့် Liquid Chemical Distribution Systems တွင်အသုံးပြုသော အစိတ်အပိုင်းများ၏ အမှုန်အမွှားပါဝင်မှုကို အကဲဖြတ်ရန်အတွက် Test Method အတွက် SEMI F104-2020 စံနှုန်းနှင့်အညီ စမ်းသပ်ခြင်းဝန်ဆောင်မှုများကို ဆောင်ရွက်ပေးပါသည်။"
ရက်ချိန်းယူရန်၊ အသေးစိတ်အချက်အလက်ရယူရန်သို့မဟုတ်အကဲဖြတ်ရန်တောင်းဆိုရန်ကျွန်ုပ်တို့၏ပုံစံကိုဖြည့်ရန်ကျွန်ုပ်တို့အားသင်တောင်းဆိုနိုင်သည်။
