ISO 14644-14 Phòng sạch và môi trường được kiểm soát liên quan - Phần 14: Đánh giá sự phù hợp cho việc sử dụng thiết bị dựa trên nồng độ hạt trong không khí

Trong tiêu chuẩn "ISO 14644-14 Phòng sạch và môi trường được kiểm soát liên quan - Phần 14: Đánh giá sự phù hợp khi sử dụng thiết bị theo nồng độ hạt trong không khí" do Tổ chức Tiêu chuẩn hóa Quốc tế (ISO) phát triển, về độ sạch của hạt trong không khí được quy định trong tiêu chuẩn ISO 14644-1, phòng sạch và môi trường được kiểm soát liên quan là Một phương pháp được mô tả để đánh giá sự phù hợp của thiết bị (ví dụ: máy móc, thiết bị đo lường, thiết bị xử lý, linh kiện và công cụ) để sử dụng trong môi trường.

Kích thước hạt dao động từ 0,1 µm đến lớn hơn hoặc bằng 5 µm. Các kích thước này được bao gồm trong tiêu chuẩn ISO 14644-1.

Khi các cơ quan quản lý áp đặt các hướng dẫn hoặc hạn chế bổ sung, phương pháp đánh giá có thể cần phải được điều chỉnh cho phù hợp.

Các tình huống sau nằm ngoài phạm vi của tiêu chuẩn này:

• Đánh giá sự phù hợp về mặt ô nhiễm sinh học
• Kiểm tra sự phù hợp của các chất và kỹ thuật khử nhiễm
• Khả năng làm sạch của thiết bị và vật liệu
• Yêu cầu về thiết kế thiết bị và lựa chọn vật liệu
• Tính chất vật lý của vật liệu (ví dụ tính chất tĩnh điện, tính chất nhiệt)
• Tối ưu hóa hiệu suất thiết bị cho các ứng dụng quy trình cụ thể
• Lựa chọn và sử dụng các phương pháp thống kê để kiểm tra
• Các giao thức và yêu cầu đối với các quy định an ninh địa phương

Với mục đích của tiêu chuẩn này, áp dụng các thuật ngữ và định nghĩa sau:

• Độ sạch đề cập đến tình trạng không vượt quá mức độ ô nhiễm quy định.
• Phòng sạch là phòng trong đó nồng độ số lượng các hạt trong không khí được kiểm soát và phân loại và được thiết kế, xây dựng và vận hành theo cách kiểm soát sự xâm nhập, hình thành và lưu giữ các hạt trong phòng. Mức độ của các thuộc tính độ sạch khác, chẳng hạn như nồng độ hóa học, sinh học hoặc cấp độ nano trong không khí, cũng như độ sạch bề mặt về nồng độ hạt, cấp độ nano, hóa học và sinh học, cũng có thể được xác định và kiểm soát. Các thông số vật lý liên quan khác như nhiệt độ, độ ẩm, áp suất, độ rung và tĩnh điện cũng có thể được kiểm soát theo yêu cầu.
• Sự phù hợp của phòng sạch đề cập đến khả năng của bất kỳ vùng sạch nào để duy trì các đặc tính hoặc điều kiện kiểm soát quan trọng khi được sử dụng như dự kiến. Với mục đích của tiêu chuẩn này, việc đánh giá dựa trên nồng độ các hạt trong không khí.
• Vùng sạch đề cập đến khu vực xác định nơi nồng độ số lượng các hạt trong không khí được kiểm soát và phân loại, đồng thời được xây dựng và vận hành theo cách kiểm soát sự xâm nhập, tạo ra và lưu giữ các chất ô nhiễm trong khu vực. Vùng sạch có thể là một khu vực được xác định trong phòng sạch hoặc có thể đạt được bằng thiết bị phân tách. Thiết bị như vậy có thể được đặt bên trong hoặc bên ngoài phòng sạch. Các thông số vật lý liên quan khác như nhiệt độ, độ ẩm, áp suất, độ rung và tĩnh điện cũng có thể được kiểm soát theo yêu cầu.
• Khử nhiễm đề cập đến việc giảm các chất không mong muốn đến một mức độ nhất định.
• Thiết bị đề cập đến một hệ thống tích hợp các vật liệu, thành phần hoặc bộ điều khiển, được thiết kế cho các chức năng cụ thể. Ví dụ: máy móc và thiết bị thử nghiệm và sản xuất, thiết bị vận chuyển và xử lý, bộ phận lưu trữ, dụng cụ, đồ nội thất, cửa ra vào, trần nhà, thiết bị công nghệ thông tin và robot xử lý.
• Môi trường thử nghiệm đề cập đến khu vực thực hiện thử nghiệm, được xác định bởi một tập hợp các tham số.

Nội dung đánh giá sự phù hợp của phòng sạch như sau:

• Trước khi tiến hành đánh giá, khách hàng và nhà cung cấp phải thống nhất về hạng mục cần kiểm tra, bao gồm phạm vi kích thước hạt và chế độ vận hành, có liên quan đến độ sạch không khí theo nồng độ hạt, như được xác định bởi ISO Loại N được đưa ra trong ISO 14644- 1 tiêu chuẩn. Mỗi chế độ vận hành đã chọn phải được đánh giá riêng lẻ.
• Cần đưa ra mô tả ngắn gọn về cách sử dụng thiết bị trong hoạt động thường ngày (với các thông số vận hành) để khuyến khích việc thiết lập các điều kiện và thông số thử nghiệm thích hợp.
• Kiểm tra trực quan.
• Để thiết lập mối liên kết với hệ thống phân loại tiêu chuẩn ISO 14644-1, nên sử dụng quy trình được mô tả trong tiêu chuẩn này.
• Tiến hành đo.
• Dữ liệu thu thập được xử lý và kết quả được liên kết với hệ thống phân loại ISO.
• Kết quả thu được kết luận sự phù hợp phòng sạch của thiết bị.

Các thử nghiệm tùy chọn bổ sung (không liên quan đến ISO loại N), ví dụ như tổng lượng phát thải hạt hoặc thử nghiệm vòng đời vận hành, được mô tả trong phụ lục của tiêu chuẩn (Phụ lục B).

Phương pháp được mô tả trong tiêu chuẩn này có thể được sử dụng để xác định tổng lượng phát thải trung bình của thiết bị và cung cấp dữ liệu có thể được sử dụng để xác định tải lượng hạt trong phòng sạch.

Việc kiểm tra trực quan thiết bị phải được thực hiện trước và sau bất kỳ đánh giá dựa trên phép đo nào.

Kiểm tra bằng mắt phải đảm bảo rằng tất cả bao bì đã được tháo ra và thiết bị không bị hư hại, được lắp đặt đúng cách và được kết nối đúng cách với các thiết bị lắp đặt được yêu cầu.

Độ sạch bề mặt nhìn thấy được phải được đánh giá một cách định tính để đảm bảo rằng mọi thử nghiệm có thể đo lường được sau đó không bị ảnh hưởng. Phần kiểm tra trực quan này có thể bao gồm việc đánh giá các hạt, màng bề mặt hoặc chất bôi trơn được đặt không đúng cách.

Mục đích của kỳ thi này là:

• Xác định ô nhiễm như các hạt và màng từ quá trình sản xuất, đóng gói, vận chuyển hoặc lắp ráp ban đầu
• Để xác định ô nhiễm từ bất kỳ quá trình khử nhiễm trước đó.

Việc kiểm tra này không nhằm mục đích cung cấp phép đo độ sạch bề mặt.

Tùy thuộc vào vị trí ô nhiễm, các kết quả thu được từ kiểm tra bằng mắt phải được ghi lại và sẵn có để so sánh với kiểm tra trực quan sau thử nghiệm về độ sạch bề mặt và được sử dụng làm cơ sở để hướng dẫn quá trình khử nhiễm lặp lại hoặc cải tiến. Hiệu quả phát hiện ô nhiễm nhìn thấy được trong thiết bị phụ thuộc vào các yếu tố sau:

• Khả năng tiếp cận và định hướng của bề mặt cần kiểm tra
• Vật liệu sử dụng trong xây dựng thiết bị, tình trạng và xử lý bề mặt
• Các thông số hình ảnh (ví dụ: độ sáng, trường nhìn, độ phóng đại khi xem, khoảng cách xem)

Trong số rất nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá, tổ chức của chúng tôi cung cấp cho các doanh nghiệp trong nhiều lĩnh vực khác nhau, với đội ngũ nhân viên được đào tạo và chuyên gia cùng thiết bị công nghệ tiên tiến, "ISO 14644-14 Phòng sạch và môi trường được kiểm soát liên quan - Phần 14: Sử dụng thiết bị theo đến nồng độ hạt trong không khí" Nó cũng cung cấp các dịch vụ chứng nhận và thử nghiệm được xác định trong tiêu chuẩn "đánh giá sự phù hợp".