
洁净室验证由一系列测试提供,以确定受控环境是否符合过程要求和 ISO 14644-1 标准的原则。

由国际标准化组织 (ISO) 制定的 ISO 14644-1 标准根据洁净室和洁净区中空气中颗粒的浓度对空气清洁度进行分类。 本标准仅考虑 0,1 至 5 µm 颗粒的累积分布。
超细颗粒(即小于 0,1 µm 的颗粒)的浓度在单独的标准中得到解决,以表明纳米级颗粒的空气清洁度。 ISO 14644-1 标准不用于表征空气中颗粒的物理、化学、放射、活体或其他性质。
本标准由我国TSE出版,名称如下:TS EN ISO 14644-1洁净室及其相关受控环境-第1部分:按颗粒浓度划分的空气洁净度分类。
为了验证洁净室环境,有必要证明:
在我们组织进行的测试、分析、测量和评估研究中,遵守国家和国际标准以及适用的法律法规,并获得可靠和公正的结果。 在此背景下进行的众多测试中,还有洁净室验证测试服务。
