
潔淨室驗證由一系列測試提供,以確定受控環境是否符合過程要求和 ISO 14644-1 標準的原則。

由國際標準化組織 (ISO) 制定的 ISO 14644-1 標準根據潔淨室和潔淨區中空氣中顆粒的濃度對空氣清潔度進行分類。 本標準僅考慮 0,1-5 µm 顆粒的累積分佈。
超細顆粒(即小於 0,1 µm 的顆粒)的濃度在單獨的標準中得到解決,以表明納米級顆粒的空氣清潔度。 ISO 14644-1 標準不用於表徵空氣中顆粒的物理、化學、放射、活體或其他性質。
本標準由我國TSE出版,名稱如下:TS EN ISO 14644-1潔淨室及其相關受控環境-第1部分:按顆粒濃度劃分的空氣潔淨度分類。
為了驗證潔淨室環境,有必要證明:
在我們組織進行的測試、分析、測量和評估研究中,遵守國家和國際標準以及適用的法律法規,並獲得可靠和公正的結果。 在此背景下進行的眾多測試中,還有潔淨室驗證測試服務。
