Standar "Metode Uji SEMI F104-2020 untuk mengevaluasi kontribusi partikel komponen yang digunakan dalam sistem distribusi bahan kimia cair dan air ultramurni", yang dikembangkan dalam kerangka program Peralatan dan Material Semikonduktor Internasional (SEMI), menjelaskan spesifikasi teknis dan metode pengujian untuk komponen guna mengevaluasi dan membandingkan kontribusi partikel terhadap aliran fluida air ultramurni (UPW).
Keterbatasan metrologi partikel yang ada membuat pengendalian partikel dalam industri semikonduktor canggih menjadi sangat menantang. Dalam hal ini, SEMI F104 merupakan standar industri yang berharga untuk pengendalian partikel dalam komponen kritis. Standar ini telah direvisi sepenuhnya untuk mengatasi kontribusi partikel yang diizinkan dari komponen yang digunakan dalam penanganan cairan ultramurni yang digunakan dalam pemrosesan semikonduktor. Pembaruan terbaru telah memodifikasi prosedur untuk mengakomodasi komponen yang lebih besar, menambahkan prosedur pengujian khusus untuk komponen yang lebih besar, dan menambahkan nilai yang ditentukan untuk kontribusi partikel yang diizinkan. Perbedaan yang signifikan antara volume massal dan luas permukaan komponen saat membandingkan komponen kecil dan besar berarti bahwa protokol pengujian yang berbeda harus diterapkan. Oleh karena itu, standar tersebut mencakup persyaratan khusus untuk laju aliran yang digunakan di berbagai bagian yang akan diuji. Klarifikasi lebih lanjut dari prosedur pengujian yang ada dan penambahan prosedur baru telah dimasukkan ke dalam standar yang direvisi, bersama dengan nilai yang ditentukan untuk komponen di seluruh rentang ukuran.
Dua metode pengujian yang ditetapkan dalam standar ini untuk menilai kontribusi partikel adalah:
Metode uji ini berlaku untuk komponen sistem kimia cair dan air ultra murni yang dirancang untuk digunakan dalam perangkat manufaktur semikonduktor dan peralatan bantu. Standar ini menjelaskan metode untuk mengukur kontaminasi partikulat dari komponen ketika menggunakan air ultra murni sebagai media uji. Untuk keperluan standar ini, air ultra murni didefinisikan sebagai air yang memenuhi persyaratan minimum yang diuraikan dalam standar ini. Metode ini menggunakan penghitung partikel optik cair in-situ untuk mengukur kinerja.
Produk yang diproduksi untuk aplikasi dengan kemurnian ultra-tinggi, seperti yang digunakan dalam industri semikonduktor atau farmasi, harus memastikan tidak ada kontaminan yang masuk selama pemrosesan. Katup yang digunakan dalam layanan ini harus memberikan tingkat kemurnian dan kinerja tertinggi. Pengujian analisis jejak dilakukan di laboratorium pengujian independen dan terakreditasi menggunakan pembilasan air ultra murni. Hasil pengujian harus menunjukkan bahwa katup menghasilkan partikel yang jauh lebih sedikit daripada batas maksimum yang diizinkan dalam standar SEMI F104, yang menegaskan kesesuaiannya untuk aplikasi ultra murni.
Singkatnya, standar SEMI F104 sangat penting dalam industri semikonduktor dan teknologi tinggi, di mana kontaminasi mikroskopis sekalipun dapat menyebabkan kegagalan produk atau penurunan kinerja yang signifikan. Standar ini membantu memastikan bahwa material yang digunakan di ruang bersih sesuai dan mematuhi persyaratan ketat lingkungan ultra-bersih ini.
Standar ini menyediakan kerangka kerja standar untuk mereferensikan data uji material yang digunakan dalam konstruksi ruang bersih. Standar ini berfokus pada kebersihan, pelepasan gas, pembentukan partikel, dan kompatibilitas kimia. Tujuannya adalah untuk mendukung pemilihan material yang meminimalkan risiko kontaminasi dan mendukung proses manufaktur semikonduktor yang andal.
Standar SEMI F104 menguraikan sifat dan data utama yang perlu dipertimbangkan saat mengevaluasi material untuk digunakan di ruang bersih. Ini meliputi:
Standar SEMI F104 berlaku untuk berbagai bahan konstruksi yang digunakan di ruang bersih dan lingkungan mini, termasuk:
Masing-masing bahan ini harus dievaluasi kepatuhannya terhadap persyaratan ruang bersih menggunakan protokol pengujian yang diakui.
Standar SEMI F104 sangat penting bagi industri semikonduktor dan manufaktur teknologi tinggi karena alasan utama berikut:
Standar ini menstandardisasi cara bahan dievaluasi, mengurangi risiko kontaminasi yang dapat menyebabkan cacat atau kegagalan pada microchip dan chip.
Konsistensi ini mendukung kinerja yang andal dan mengurangi kemungkinan penggunaan material yang tidak kompatibel atau di bawah standar.
Standar ini membantu produsen memenuhi standar kualitas yang semakin ketat dengan berkontribusi pada keandalan proses dan tingkat hasil yang lebih tinggi.
Hal ini mengurangi ketidakpastian dan memastikan bahwa semua pemangku kepentingan memahami spesifikasi kinerja dan kebersihan yang diperlukan.
Dengan merujuk standar ini, produsen dapat membangun sistem ruang bersih yang mematuhi persyaratan industri dan peraturan yang lebih luas.
Oleh karena itu, standar SEMI F104 memainkan peran penting dalam industri presisi tinggi di mana integritas ruang bersih tidak dapat dinegosiasikan. Standar ini membantu melindungi lingkungan manufaktur yang sensitif, memastikan kinerja material yang konsisten, dan pada akhirnya mendukung produksi perangkat semikonduktor berkualitas tinggi dan andal.
Organisasi kami, yang telah mendukung berbagai bisnis di berbagai sektor selama bertahun-tahun melalui beragam kegiatan pengujian, pengukuran, analisis, dan evaluasi, memiliki tim karyawan yang tangguh yang senantiasa mengikuti perkembangan sains dan teknologi global dan terus berinovasi. Dalam konteks ini, kami juga menyediakan layanan pengujian sesuai dengan standar SEMI F104-2020 untuk "Metode Uji untuk Menilai Kontribusi Partikulat Komponen yang Digunakan dalam Sistem Distribusi Air Ultramurni dan Bahan Kimia Cair".
Anda dapat meminta kami untuk mengisi formulir kami untuk mendapatkan janji, untuk mendapatkan informasi lebih lanjut atau untuk meminta evaluasi.
