Стандардот „SEMI F104-2020 Метод за тестирање за евалуација на придонесот на честичките кај компонентите што се користат во системи за дистрибуција на ултрачиста вода и течни хемикалии“, развиен во рамките на Меѓународната програма за полупроводничка опрема и материјали (SEMI), ги опишува техничките спецификации и методите за тестирање на компонентите за евалуација и споредување на придонесот на честичките во протокот на флуид со ултрачиста вода (UPW).
Ограничувањата на постојната метрологија на честички го прават контролирањето на честичките во напредната полупроводничка индустрија исклучително предизвикувачко. Во овој поглед, SEMI F104 е вреден индустриски стандард за контрола на честички во критични компоненти. Овој стандард е целосно ревидиран за да се справи со дозволените придонеси на честички од компонентите што се користат при ракување со ултрачисти течности што се користат во обработката на полупроводници. Неодамнешните ажурирања ја изменија постапката за да се прилагодат на поголемите компоненти, додадоа процедури за тестирање специфични за поголемите компоненти и додадоа специфични вредности за дозволените придонеси на честички. Значајната разлика помеѓу волуменот на масата и површината на компонентите при споредување на малите и големите компоненти значи дека мора да се применат различни протоколи за тестирање. Затоа, стандардот вклучува специфични барања за брзините на проток што се користат низ низа делови што треба да се тестираат. Понатамошни појаснувања на постојните процедури за тестирање и додавањето на нови процедури се вклучени во ревидираниот стандард, заедно со специфични вредности за компонентите низ целиот опсег на големини.
Двата методи на тестирање дефинирани во овој стандард за проценка на придонесот на честичките се:
Овие методи на тестирање се применуваат на течни хемиски и ултрачисти компоненти на системи за вода дизајнирани за употреба во уреди за производство на полупроводници и помошна опрема. Овој стандард ги опишува методите за мерење на контаминација со честички од компонентите кога се користи ултрачиста вода како медиум за тестирање. За целите на овој стандард, ултрачистата вода се дефинира како вода што ги исполнува минималните барања наведени во овој стандард. Овие методи користат in-situ течен оптички бројач на честички за мерење на перформансите.
Производите произведени за употреба во апликации со ултра-висока чистота, како што се полупроводничката или фармацевтската индустрија, мора да обезбедат дека нема да влезат загадувачи за време на обработката. Вентилите што се користат во овие услуги мора да обезбедат највисоки нивоа на чистота и перформанси. Тестирањето за анализа на траги се врши во независни, акредитирани лаборатории за тестирање со употреба на плакнења со ултрачиста вода. Резултатите од тестовите мора да покажат дека вентилите придонесуваат значително помалку честички од максимално дозволените граници во стандардот SEMI F104, потврдувајќи ја нивната соодветност за апликации со ултрачиста чистота.
Накратко, стандардот SEMI F104 е од суштинско значење во полупроводничката и високотехнолошката индустрија, каде што дури и микроскопската контаминација може да доведе до значителни дефекти на производот или загуби во перформансите. Овој стандард помага да се осигура дека материјалите што се користат во чистите простории се соодветни и во согласност со строгите барања на овие ултра чисти средини.
Овој стандард обезбедува стандардизирана рамка за референцирање на податоци од тестови за материјали што се користат во изградбата на чисти простории. Се фокусира на чистотата, испуштањето гасови, формирањето честички и хемиската компатибилност. Целта е да се поддржи изборот на материјали што ги минимизираат ризиците од контаминација и поддржуваат сигурни процеси на производство на полупроводници.
Стандардот SEMI F104 ги наведува клучните својства и податоци што треба да се земат предвид при оценување на материјали за употреба во чисти простории. Тие вклучуваат:
Стандардот SEMI F104 е применлив за различни градежни материјали што се користат во чисти соби и мини-средини, вклучувајќи:
Секој од овие материјали мора да се оцени за усогласеност со барањата за чисти простории со користење на признати протоколи за тестирање.
Стандардот SEMI F104 е клучен за полупроводничките и високотехнолошките индустрии за производство од следниве клучни причини:
Овој стандард стандардизира како се оценуваат материјалите, намалувајќи го ризикот од контаминација што може да предизвика дефекти или дефекти кај микрочиповите и чиповите.
Оваа конзистентност поддржува сигурни перформанси и ја намалува можноста за воведување некомпатибилни или нестандардни материјали.
Овој стандард им помага на производителите да ги исполнат сè построгите стандарди за квалитет преку придонесување за сигурност на процесот и повисоки стапки на принос.
Ова ја намалува неизвесноста и гарантира дека сите засегнати страни ги разбираат потребните спецификации за перформанси и чистота.
Со повикување на овој стандард, производителите можат да изградат системи за чисти простории што се во согласност со пошироките регулаторни и индустриски барања.
Како резултат на тоа, стандардот SEMI F104 игра витална улога во високопрецизните индустрии каде што интегритетот на чистите простории е неспорен. Тој помага во заштитата на чувствителните производствени средини, обезбедува конзистентни перформанси на материјалите и на крајот го поддржува производството на висококвалитетни, сигурни полупроводнички уреди.
Нашата организација, која со години ги поддржува бизнисите во сите сектори преку широк спектар на активности за тестирање, мерење, анализа и евалуација, има силен тим на вработени кои внимателно ги следат глобалните случувања во науката и технологијата и постојано се подобруваат. Во овој контекст, ние исто така нудиме услуги за тестирање во согласност со стандардот SEMI F104-2020 за „Метод на тестирање за проценка на придонесот на честичките од компонентите што се користат во системи за дистрибуција на ултрачиста вода и течни хемикалии“.
Можете да побарате од нас да ја пополните нашата форма за да закажете состанок, да добиете подетални информации или да побарате проценка.
