Norma „SEMI F104-2020 Skúšobná metóda na hodnotenie príspevku častíc komponentov používaných v systémoch distribúcie ultračistej vody a kvapalných chemikálií“, vyvinutá v rámci programu Medzinárodného programu polovodičových zariadení a materiálov (SEMI), opisuje technické špecifikácie a skúšobné metódy pre komponenty na hodnotenie a porovnanie príspevku častíc k prúdeniu kvapaliny ultračistej vody (UPW).
Obmedzenia existujúcej metrológie častíc robia riadenie častíc v pokročilom polovodičovom priemysle mimoriadne náročným. V tomto ohľade je SEMI F104 cennou priemyselnou normou pre riadenie častíc v kritických komponentoch. Táto norma bola kompletne prepracovaná, aby sa zaoberala povolenými príspevkami častíc zo komponentov používaných pri manipulácii s ultračistými kvapalinami používanými pri spracovaní polovodičov. Nedávne aktualizácie upravili postup tak, aby vyhovoval väčším komponentom, pridali testovacie postupy špecifické pre väčšie komponenty a pridali špecifikované hodnoty pre povolené príspevky častíc. Významný rozdiel medzi objemom a povrchovou plochou komponentov pri porovnaní malých a veľkých komponentov znamená, že je potrebné použiť rôzne testovacie protokoly. Norma preto obsahuje špecifické požiadavky na prietoky používané v celom rade testovaných dielov. Do revidovanej normy boli začlenené ďalšie objasnenia existujúcich testovacích postupov a pridanie nových postupov spolu so špecifikovanými hodnotami pre komponenty v celom rozsahu veľkostí.
Dve skúšobné metódy definované v tejto norme na posudzovanie príspevku častíc sú:
Tieto testovacie metódy sa vzťahujú na komponenty systémov s kvapalnými chemikáliami a ultračistou vodou určené na použitie v zariadeniach na výrobu polovodičov a pomocných zariadeniach. Táto norma opisuje metódy merania kontaminácie častíc zo komponentov pri použití ultračistej vody ako testovacieho média. Na účely tejto normy sa ultračistá voda definuje ako voda, ktorá spĺňa minimálne požiadavky uvedené v tejto norme. Tieto metódy využívajú na meranie výkonu kvapalinové optické počítadlo častíc in situ.
Výrobky vyrobené na použitie v aplikáciách s ultravysokou čistotou, ako je polovodičový alebo farmaceutický priemysel, musia zabezpečiť, aby sa počas spracovania nedostali žiadne kontaminanty. Ventily používané v týchto službách musia poskytovať najvyššiu úroveň čistoty a výkonu. Stopové analýzy sa vykonávajú v nezávislých, akreditovaných testovacích laboratóriách s použitím ultračistej vody. Výsledky testov musia preukázať, že ventily prispievajú výrazne menším množstvom častíc, ako sú maximálne povolené limity v norme SEMI F104, čo potvrdzuje ich vhodnosť pre ultračisté aplikácie.
Stručne povedané, norma SEMI F104 je nevyhnutná v polovodičovom a high-tech priemysle, kde aj mikroskopická kontaminácia môže viesť k významným poruchám produktov alebo stratám výkonu. Táto norma pomáha zabezpečiť, aby materiály používané v čistých priestoroch boli vhodné a spĺňali prísne požiadavky týchto ultra čistých prostredí.
Táto norma poskytuje štandardizovaný rámec pre odkazovanie na testovacie údaje pre materiály používané pri stavbe čistých priestorov. Zameriava sa na čistotu, uvoľňovanie plynov, tvorbu častíc a chemickú kompatibilitu. Cieľom je podporiť výber materiálov, ktoré minimalizujú riziká kontaminácie a podporujú spoľahlivé procesy výroby polovodičov.
Norma SEMI F104 uvádza kľúčové vlastnosti a údaje, ktoré treba zvážiť pri hodnotení materiálov na použitie v čistých priestoroch. Patria sem:
Norma SEMI F104 sa vzťahuje na rôzne stavebné materiály používané v čistých priestoroch a mini-prostrediach vrátane:
Každý z týchto materiálov musí byť posúdený z hľadiska súladu s požiadavkami na čisté priestory pomocou uznávaných testovacích protokolov.
Norma SEMI F104 je kľúčová pre polovodičový a technologicky vyspelý výrobný priemysel z týchto kľúčových dôvodov:
Táto norma štandardizuje spôsob hodnotenia materiálov, čím sa znižuje riziko kontaminácie, ktorá by mohla spôsobiť chyby alebo poruchy mikročipov a čipov.
Táto konzistencia podporuje spoľahlivý výkon a znižuje možnosť použitia nekompatibilných alebo nekvalitných materiálov.
Táto norma pomáha výrobcom spĺňať čoraz prísnejšie normy kvality tým, že prispieva k spoľahlivosti procesov a vyššej miere výťažnosti.
To znižuje neistotu a zabezpečuje, že všetky zainteresované strany rozumejú požadovaným špecifikáciám výkonu a čistoty.
Odkazovaním sa na túto normu môžu výrobcovia vytvárať systémy čistých priestorov, ktoré spĺňajú širšie regulačné a priemyselné požiadavky.
V dôsledku toho zohráva norma SEMI F104 kľúčovú úlohu vo vysoko presných odvetviach, kde je integrita čistých priestorov nevyhnutná. Pomáha chrániť citlivé výrobné prostredia, zabezpečuje konzistentný výkon materiálov a v konečnom dôsledku podporuje výrobu vysoko kvalitných a spoľahlivých polovodičových súčiastok.
Naša organizácia, ktorá už roky podporuje podniky vo všetkých sektoroch prostredníctvom širokej škály testovacích, meracích, analytických a hodnotiacich aktivít, má silný tím zamestnancov, ktorí pozorne sledujú globálny vývoj vo vede a technike a neustále sa zlepšujú. V tejto súvislosti poskytujeme aj testovacie služby v súlade s normou SEMI F104-2020 pre „Testovaciu metódu na posudzovanie podielu častíc v komponentoch používaných v systémoch distribúcie ultračistej vody a kvapalných chemikálií“.
Môžete nás požiadať, aby sme vyplnili náš formulár, aby sme dostali schôdzku, získali podrobnejšie informácie alebo požiadali o vyhodnotenie.
