Phân tích kính hiển vi điện tử truyền qua TEM

Kính hiển vi điện tử truyền qua là một công cụ rất mạnh cho khoa học vật liệu. Một chùm điện tử năng lượng cao đi qua một mẫu rất mỏng và tương tác giữa các điện tử và nguyên tử được sử dụng để quan sát các tính chất như cấu trúc tinh thể và các tính chất như sự lệch vị trí và ranh giới hạt trong cấu trúc. Các phân tích hóa học cũng có thể được thực hiện bằng phương pháp này.

TEM (kính hiển vi điện tử truyền qua) là một phương pháp phân tích được sử dụng để kiểm tra sự phát triển lớp, thành phần và khuyết tật trong chất bán dẫn. Độ phân giải cao được sử dụng để phân tích chất lượng, hình dạng, kích thước và mật độ của vật liệu.

Phân tích bằng kính hiển vi điện tử truyền qua TEM hoạt động dựa trên các nguyên tắc cơ bản giống như kính hiển vi ánh sáng, nhưng sử dụng các điện tử thay vì ánh sáng. Bởi vì bước sóng của các electron nhỏ hơn nhiều so với bước sóng ánh sáng, độ phân giải tối ưu đạt được cho những hình ảnh phân tích này tốt hơn một bậc của độ lớn so với độ phân giải của kính hiển vi ánh sáng. Do đó, phương pháp phân tích này có thể tiết lộ những chi tiết nhỏ nhất của cấu trúc bên trong, trong một số trường hợp nhỏ như các nguyên tử riêng lẻ.

Trong quá trình chụp ảnh, chùm tia điện tử từ súng bắn điện tử được hội tụ thành một chùm tia nhỏ, mỏng, kết hợp bằng cách sử dụng một thấu kính ngưng tụ. Chùm tia này bị giới hạn bởi khẩu độ của bình ngưng, không bao gồm các điện tử góc cao. Sau đó chùm tia chiếu vào mẫu và truyền các mảnh phụ thuộc vào độ dày và độ trong suốt của điện tử của mẫu. Phần đã truyền này được vật kính hội tụ vào một hình ảnh trên màn hình phosphor hoặc máy ảnh của thiết bị được kết nối tích điện. Các khẩu độ thấu kính tùy chọn được sử dụng để tăng độ tương phản bằng cách chặn các điện tử nhiễu xạ góc cao. Hình ảnh sau đó được phóng to hoàn toàn. Hình ảnh chạm vào màn hình phosphor và ánh sáng được tạo ra, cho phép người dùng nhìn thấy hình ảnh. Các khu vực tối hơn của hình ảnh đại diện cho các khu vực của mẫu nơi ít điện tử hơn được truyền qua, trong khi các khu vực sáng hơn của hình ảnh đại diện cho các khu vực của mẫu nơi nhiều điện tử hơn được truyền đi.

Một mẫu thử nghiệm phải đủ mỏng để truyền đủ điện tử để tạo thành một hình ảnh có tổn thất năng lượng tối thiểu. Do đó, chuẩn bị mẫu là một khía cạnh quan trọng của quá trình phân tích TEM.

Tổ chức của chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ phân tích kính hiển vi điện tử truyền qua TEM với đội ngũ chuyên gia được đào tạo và trang thiết bị công nghệ tiên tiến, trong số nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau.