TEM 透射电子显微镜分析

透射电子显微镜是材料科学的一个非常强大的工具。 高能电子束穿过非常薄的样品，利用电子和原子之间的相互作用来观察晶体结构等性质以及结构中的位错和晶界等性质。 化学分析也可以用这种方法进行。

透射电子显微镜（TEM）是一种用于检测半导体层生长、成分和缺陷的分析方法。高分辨率成像技术可用于分析材料的质量、形状、尺寸和密度。

TEM 透射电子显微镜分析的工作原理与光学显微镜相同，但使用电子而不是光。 由于电子的波长远小于光的波长，因此这些分析图像的最佳分辨率比光学显微镜好一个数量级。 因此，这种分析方法可以揭示内部结构的最微小细节，在某些情况下小到单个原子。

在成像过程中，来自电子枪的电子束使用聚光镜聚焦成细小的相干光束。 该光束由聚光镜孔径限制，不包括高角度电子。 然后光束撞击样品并根据样品的厚度和电子透明度传输碎片。 该透射部分由物镜聚焦到荧光屏或电荷连接器件照相机上的图像上。 可选的透镜孔径用于通过阻挡高角度衍射电子来增加对比度。 然后图像被完全放大。 图像撞击荧光屏并产生光，让用户看到图像。 图像的较暗区域表示样品中传输的电子较少的区域，而图像的较亮区域表示样品中传输更多电子的区域。

测试样品必须足够薄以传输足够的电子以形成能量损失最小的图像。 因此，样品制备是 TEM 分析过程的一个重要方面。

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