استاندارد «روش آزمون SEMI F104-2020 برای ارزیابی سهم ذرات اجزای مورد استفاده در سیستم‌های توزیع آب فوق خالص و مواد شیمیایی مایع»، که در چارچوب برنامه بین‌المللی تجهیزات و مواد نیمه‌هادی (SEMI) تدوین شده است، مشخصات فنی و روش‌های آزمون اجزایی را برای ارزیابی و مقایسه سهم ذرات در جریان سیال آب فوق خالص (UPW) شرح می‌دهد.
محدودیت‌های موجود در اندازه‌گیری ذرات، کنترل ذرات در صنعت نیمه‌هادی پیشرفته را بسیار چالش‌برانگیز می‌کند. در این راستا، SEMI F104 یک استاندارد صنعتی ارزشمند برای کنترل ذرات در اجزای حیاتی است. این استاندارد به طور کامل اصلاح شده است تا سهم مجاز ذرات از اجزای مورد استفاده در جابجایی مایعات فوق خالص مورد استفاده در پردازش نیمه‌هادی را در نظر بگیرد. به‌روزرسانی‌های اخیر، این روش را برای تطبیق با اجزای بزرگتر اصلاح کرده، رویه‌های آزمایش مخصوص اجزای بزرگتر را اضافه کرده و مقادیر مشخصی را برای سهم مجاز ذرات اضافه کرده است. تفاوت قابل توجه بین حجم توده و مساحت سطح اجزا هنگام مقایسه اجزای کوچک و بزرگ به این معنی است که باید پروتکل‌های آزمایش متفاوتی اعمال شود. بنابراین، این استاندارد شامل الزامات خاصی برای نرخ جریان مورد استفاده در طیف وسیعی از قطعات مورد آزمایش است. توضیحات بیشتر در مورد رویه‌های آزمایش موجود و افزودن رویه‌های جدید، همراه با مقادیر مشخص شده برای اجزا در طیف وسیعی از اندازه‌ها، در استاندارد اصلاح شده گنجانده شده است.
دو روش آزمون تعریف شده در این استاندارد برای ارزیابی سهم ذرات عبارتند از:
این روش‌های آزمایش برای اجزای سیستم آب فوق خالص و مواد شیمیایی مایع که برای استفاده در دستگاه‌های تولید نیمه‌هادی و تجهیزات کمکی طراحی شده‌اند، اعمال می‌شود. این استاندارد روش‌هایی را برای اندازه‌گیری آلودگی ذرات از اجزا هنگام استفاده از آب فوق خالص به عنوان محیط آزمایش توصیف می‌کند. برای اهداف این استاندارد، آب فوق خالص به عنوان آبی تعریف می‌شود که حداقل الزامات ذکر شده در این استاندارد را برآورده می‌کند. این روش‌ها از یک شمارنده ذرات نوری مایع درجا برای اندازه‌گیری عملکرد استفاده می‌کنند.
محصولاتی که برای استفاده در کاربردهای با خلوص بسیار بالا، مانند صنایع نیمه‌رسانا یا داروسازی تولید می‌شوند، باید اطمینان حاصل کنند که هیچ آلاینده‌ای در طول پردازش وارد نمی‌شود. شیرهای مورد استفاده در این خدمات باید بالاترین سطوح خلوص و عملکرد را ارائه دهند. آزمایش تجزیه و تحلیل ردیابی در آزمایشگاه‌های آزمایش مستقل و معتبر با استفاده از آب فوق خالص انجام می‌شود. نتایج آزمایش باید نشان دهد که شیرها به طور قابل توجهی ذرات معلق کمتری نسبت به حداکثر حد مجاز در استاندارد SEMI F104 تولید می‌کنند و این امر مناسب بودن آنها را برای کاربردهای فوق خالص تأیید می‌کند.
به طور خلاصه، استاندارد SEMI F104 در صنایع نیمه‌هادی و فناوری پیشرفته ضروری است، جایی که حتی آلودگی میکروسکوپی می‌تواند منجر به خرابی‌های قابل توجه محصول یا افت عملکرد شود. این استاندارد به اطمینان از مناسب و مطابق بودن مواد مورد استفاده در اتاق‌های تمیز با الزامات سختگیرانه این محیط‌های فوق تمیز کمک می‌کند.
این استاندارد یک چارچوب استاندارد برای ارجاع به داده‌های آزمایش مواد مورد استفاده در ساخت اتاق تمیز ارائه می‌دهد. این استاندارد بر تمیزی، خروج گاز، تشکیل ذرات و سازگاری شیمیایی تمرکز دارد. هدف، پشتیبانی از انتخاب موادی است که خطرات آلودگی را به حداقل می‌رسانند و از فرآیندهای تولید نیمه‌هادی قابل اعتماد پشتیبانی می‌کنند.
استاندارد SEMI F104 خواص و داده‌های کلیدی مورد نیاز برای ارزیابی مواد جهت استفاده در اتاق‌های تمیز را شرح می‌دهد. این موارد عبارتند از:
استاندارد SEMI F104 برای انواع مصالح ساختمانی مورد استفاده در اتاق‌های تمیز و محیط‌های کوچک، از جمله موارد زیر، قابل اجرا است:
هر یک از این مواد باید از نظر انطباق با الزامات اتاق تمیز با استفاده از پروتکل‌های آزمایش شناخته شده ارزیابی شوند.
استاندارد SEMI F104 به دلایل کلیدی زیر برای صنایع نیمه‌هادی و صنایع تولیدی با فناوری پیشرفته بسیار مهم است:
این استاندارد نحوه ارزیابی مواد را استاندارد می‌کند و خطر آلودگی را که می‌تواند باعث نقص یا خرابی در ریزتراشه‌ها و تراشه‌ها شود، کاهش می‌دهد.
این سازگاری، عملکرد قابل اعتماد را پشتیبانی می‌کند و احتمال معرفی مواد ناسازگار یا بی‌کیفیت را کاهش می‌دهد.
این استاندارد به تولیدکنندگان کمک می‌کند تا با کمک به قابلیت اطمینان فرآیند و نرخ بازده بالاتر، استانداردهای کیفی سختگیرانه‌تری را رعایت کنند.
این امر عدم قطعیت را کاهش می‌دهد و تضمین می‌کند که همه ذینفعان مشخصات عملکرد و پاکیزگی مورد نیاز را درک می‌کنند.
با ارجاع به این استاندارد، تولیدکنندگان می‌توانند سیستم‌های اتاق تمیزی بسازند که با الزامات نظارتی و صنعتی گسترده‌تری مطابقت داشته باشند.
در نتیجه، استاندارد SEMI F104 نقشی حیاتی در صنایع با دقت بالا که در آنها یکپارچگی اتاق تمیز غیرقابل مذاکره است، ایفا می‌کند. این استاندارد به محافظت از محیط‌های حساس تولید کمک می‌کند، عملکرد پایدار مواد را تضمین می‌کند و در نهایت از تولید دستگاه‌های نیمه‌هادی با کیفیت بالا و قابل اعتماد پشتیبانی می‌کند.
سازمان ما که سال‌هاست از طریق طیف گسترده‌ای از فعالیت‌های آزمایش، اندازه‌گیری، تجزیه و تحلیل و ارزیابی، از کسب‌وکارها در تمام بخش‌ها پشتیبانی می‌کند، دارای تیمی قوی از کارکنان است که از نزدیک پیشرفت‌های جهانی در علم و فناوری را دنبال می‌کنند و دائماً در حال بهبود خود هستند. در این زمینه، ما همچنین خدمات آزمایشی را مطابق با استاندارد SEMI F104-2020 برای "روش آزمایش برای ارزیابی سهم ذرات اجزای مورد استفاده در سیستم‌های توزیع آب فوق خالص و مواد شیمیایی مایع" ارائه می‌دهیم.
برای دریافت قرار ملاقات، برای دریافت اطلاعات دقیق تر و یا درخواست ارزیابی، می توانید از ما بخواهید فرم ما را پر کند و به شما برسد.
