Uluslararası Yarı İletken Ekipman ve Malzemeler (SEMI) programı çerçevesinde geliştirilen “SEMI F104-2020 Ultra saf su ve sıvı kimyasal dağıtım sistemlerinde kullanılan bileşenlerin partikül katkısının değerlendirilmesine yönelik test yöntemi” standardında, ultra saf su (UPW) akışkan akışına partikül katkısını değerlendirmek ve karşılaştırmak için bileşenlere ilişkin teknik özellikler ve test yöntemleri açıklanmaktadır.
Mevcut parçacık metrolojisinin sınırlamaları nedeniyle gelişmiş yarı iletken endüstrisinde parçacıkları kontrol etme yeteneği son derece zor hale gelmektedir. Bu bakımdan SEMI F104 standardı, kritik bileşenlerde parçacık kontrolü için endüstride kullanılan değerli bir standarttır. Bu standart, yarı iletken prosesinde kullanılan ultra saf sıvıların taşınmasında kullanılan bileşenler tarafından katkıda bulunulan izin verilen parçacıklar için tamamen yenilenmiştir. Son yapılan güncellemelerde, prosedür daha büyük bileşenleri içerecek şekilde tasarlanmış, daha büyük bileşenlere özgü test prosedürleri eklenmiş ve izin verilen katkıda bulunulan parçacıklar için belirtilen değerler ilave edilmiştir. Küçük bileşenlerle büyük bileşenleri karşılaştırırken sıvı yığın hacmi ile bileşen yüzey alanı arasındaki önemli fark, test için farklı protokollerin uygulanması gerektiği anlamına gelir. Bu nedenle standart, test edilecek parça aralığında kullanılan akış hızları için belirli gereksinimleri içerir. Mevcut test prosedürlerine ilişkin daha fazla açıklama ve yeni prosedürlerin eklenmesi, revize edilmiş standarda ve boyut aralığındaki bileşenler için belirtilen değerlere dahil edilmiştir.
Bu standartta, parçacık katkısını değerlendirmek amacı ile tanımlanan iki test yöntemi şunlardır:
Bu test yöntemleri, yarı iletken üretim araçlarında ve yardımcı ekipmanlarda kullanılmak üzere tasarlanmış sıvı kimyasal ve ultra saf su sistem bileşenlerine uygulanır. Bu standart, ultra saf suyu test ortamı olarak kullanırken bileşenlerden partikül katkısını ölçme yöntemlerini açıklar. Bu standardın amaçları için ultra saf su, bu standartta özetlenen asgari gereksinimlere sahip su olarak tanımlanır. Bu yöntemler, performansı ölçmek için yerinde sıvı optik partikül ölçümü cihazı kullanır.
Yarı iletken veya ilaç endüstrileri gibi ultra yüksek saflıktaki uygulamalarda kullanılmak üzere üretilen ürünler, işlem sırasında kirleticilerin girmediğinden emin olmalıdır. Bu hizmetlerde kullanılan valfler en yüksek saflık ve performans seviyelerini sağlamalıdır. İz analizi testi, ultra saf su durulaması kullanılarak bağımsız, akredite test laboratuvarlarında gerçekleştirilir. Test sonuçları, valflerin SEMI F104 standardında izin verilen maksimum sınırlardan çok daha az partikül katkıda bulunduğunu kanıtlamalı bu valflerin ultra saf uygulamalar için uygunluğunu doğrulamalıdır.
Kısaca SEMI F104 standardı, mikroskobik kirlenmenin bile önemli ürün arızalarına veya performans kayıplarına yol açabileceği yarı iletken ve yüksek teknoloji endüstrilerinde olmazsa olmazdır. Bu standart, temiz odalarda kullanılan malzemelerin bu ultra temiz ortamların katı gerekliliklerine uygun ve uyumlu olmasını sağlamaya yardımcı olur.
Bu standart, temiz oda yapımında kullanılan malzemelere ilişkin test verilerine referans vermek için standartlaştırılmış bir çerçeve sunar. Bu malzemelerin temizliğine, gaz çıkışına, partikül oluşumuna ve kimyasal uyumluluğuna odaklanır. Amaç, kontaminasyon risklerini en aza indiren ve güvenilir yarı iletken üretim süreçlerini destekleyen malzemelerin seçimini desteklemektir.
SEMI F104 standardı, temiz odalarda kullanım için malzemeleri değerlendirirken dikkate alınması gereken temel özellikleri ve verileri ana hatları ile belirtir. Bunlara şunlar dahildir:
SEMI F104 standardı, temiz odalarda ve mini ortamlarda kullanılan çeşitli yapı malzemelerine uygulanabilir, bunlar şunlardır:
Bu malzemelerin her biri, tanınmış test protokolleri kullanılarak temiz oda gereksinimleriyle uyumluluk açısından değerlendirilmelidir.
SEMI F104 standardı, şu temel nedenlerden dolayı yarı iletken ve yüksek teknoloji üretim endüstrilerinde kritik öneme sahiptir:
Bu standart, malzemelerin nasıl değerlendirileceğini standartlaştırarak mikroçiplerde ve yongalarda kusurlara veya arızalara neden olabilecek kirlenme riskini azaltır.
Bu tutarlılık, güvenilir performansı destekler ve uyumsuz veya standart altı malzemelerin tanıtılması olasılığını azaltır.
Bu standart, proses güvenilirliğine ve daha yüksek verim oranlarına katkıda bulunarak üreticilerin giderek daha katı kalite standartlarını karşılamalarına yardımcı olur.
Bu, belirsizliği azaltır ve tüm paydaşların gerekli performans ve temizlik özelliklerini anlamasını sağlar.
Üreticiler, bu standarda atıfta bulunarak daha geniş düzenleyici ve endüstri gereksinimleriyle uyumlu temiz oda sistemleri inşa edebilirler.
Sonuç olarak SEMI F104 standardı, temiz oda bütünlüğünün pazarlık konusu olmadığı yüksek hassasiyetli endüstrilerde hayati bir rol oynar. Hassas üretim ortamlarını korumaya yardımcı olur, tutarlı malzeme performansı sağlar ve nihayetinde yüksek kaliteli, güvenilir yarı iletken cihazların üretimini destekler.
Yıllardır çok geniş bir yelpazede gerçekleştirdiği test, ölçüm, analiz ve değerlendirme çalışmaları ile her sektörden işletmelere destek olmaya çalışan kuruluşumuz, bilim ve teknoloji alanında dünyada yaşanan gelişmeleri yakından takip eden ve sürekli kendini geliştiren güçlü bir çalışan kadrosuna sahiptir. Bu çerçevede işletmelere “SEMI F104-2020 Ultra saf su ve sıvı kimyasal dağıtım sistemlerinde kullanılan bileşenlerin partikül katkısının değerlendirilmesine yönelik test yöntemi” standardına uygun test hizmetleri de verilmektedir.
Randevu almak, daha detaylı bilgi edinmek yada değerlendirme talep etmek için formumuzu doldurarak size ulaşmamızı isteyebilirsiniz.
EUROLAB , raporlama ve belgelendirme faaliyetlerini, United Accreditation Foundation (UAF), Türk Akreditasyon Kurumu (TÜRKAK), Enterprise Accreditation Foundation (EAF) kuruluşundan sağladığı akreditasyona dayanarak sürdürmektedir. Enterprise Accreditation Foundation (EAF), aynı zamanda Birleşmiş Milletler (UN GLOBAL COMPACT) imzacısıdır.
