SEMI F73 Testmetode til scanningselektronmikroskopi (SEM) Evaluering af våde overfladeforhold af rustfrit stålkomponenter

Udviklet inden for rammerne af et internationalt standardprogram kaldet International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI), definerer SEMI F73-standarden en ensartet testmetode til test af våde overflader af rustfri stålkomponenter beregnet til samling i gasdistributionssystemer med høj renhed. Denne testmetode karakteriserer forekomsten, hyppigheden og i nogle tilfælde identiteten af ​​mikroskopiske overfladedefekter og kontaminanter set på våde overflader.

Der er en direkte sammenhæng mellem resultaterne af denne testmetode og forurening af procesgasser eller produktudbytte i processer, der betjenes af gasdistributionssystemer med høj renhed. Anvendelsen af ​​denne testmetode er beregnet til at give sammenlignelige og reproducerbare resultater blandt forskellige brugere af denne metode med henblik på kvalificering af komponenter.

Formålet med testmetoden beskrevet i denne standard er at definere et generelt sæt instrumentelle parametre og betingelser, der vil give præcise og repeterbare målinger af vigtige parametre for overfladetilstand.

Denne testmetode er anvendelig til våde overflader på rustfrit stålrør, fittings, ventiler og andre komponenter for at bestemme effektiviteten af ​​overfladebehandlinger og rengøringsbehandlinger. Denne metode anvendes til at identificere overfladedefekter, herunder gruber, indeslutninger, ridser, resterende procesmærker, korngrænser og forurening på fugtede overflader. Enhver overfladeskade, der opstår under prøveforberedelsen, bør dog udelukkes fra denne vurdering.

Et scanningselektronmikroskop (SEM) er et elektronmikroskop, der bruger en fokuseret stråle af elektroner til at scanne og afbilde prøveoverfladen. Elektroner interagerer med atomer i prøven og producerer forskellige signaler, der indeholder information om sammensætningen på prøveoverfladen. Standard scanningsenheder er velegnede til inspektion af tørre og ledende overflader i højvakuum. Der er dog også scanningsenheder, der fungerer under lavt vakuum, fugtige forhold og forhold, der spænder fra meget lave til høje temperaturer.

Blandt de mange tests, målinger, analyser og evalueringer, som vores organisation leverer til virksomheder i forskellige sektorer, tilbyder vi også testtjenester til evaluering af den våde overfladetilstand af rustfri stålkomponenter ved hjælp af scanningelektronmikroskopi (SEM) inden for rammerne af SEMI F73-standarden, takket være vores uddannede og erfarne personale og avancerede teknologiske udstyr.