SEMI F76 testmetode til evaluering af partikelbidrag fra gassystemkomponenter udsat for ætsende gas

SEMI F76-standarden, udviklet under et internationalt standardiseringsprogram kaldet Semiconductor Equipment and Materials International (SEMI) , definerer en testmetode til sammenligning af gasbehandlingskomponenter for potentiel partikelgenerering i korrosiv gasdrift. Denne standard er designet som en praktisk måde at generere ydelsesdata for en gruppe komponenter, der skal sammenlignes i en udvælgelsesproces. Den beskrevne testmetode kan anvendes på ventiler, partikelfiltre og lavtryksregulatorer.

SEMI-standarder giver producenterne vejledning om de kemikalier og materialeprocesser, der er involveret i fremstillingen af ​​halvlederchips og andre relaterede enheder. Takket være disse standarder kan virksomheder gå ind på internationale markeder, minimere designrisici og øge deres produktivitet.

For halvlederindustrien er høj renhed, kemisk resistens, tæthed og nøjagtighed vigtige værktøjer til produktudvikling og fremstillingsprocesser. Halvledermaterialer er materialer, der får ledende egenskaber med virkningen af ​​mekanisk arbejde påført dem. Disse materialer, som er isolatorer under normale forhold, frigiver nogle af deres elektroner og bliver ledende, når eksterne effekter såsom varme, lys, magnetisk effekt eller elektrisk spænding påføres. Når denne påførte ydre effekt fjernes, vender disse stoffer tilbage til den isolerende tilstand igen. Takket være disse egenskaber er halvledere meget udbredt inden for elektronik.

SEMI-standarder vedrører også lagrede/komprimerede gaskilder og distributionssystemer. Det refererer også generelt til meget giftige additive gasser under højtemperaturdiffusionstrinnene.

Under udarbejdelsen af ​​denne standard blev følgende SEMI-standarder taget som reference:

• Specifikation for SEMI C59 Nitrogen
• SEMI E66 Testmetode til bestemmelse af partikelbidrag fra massestrømsregulatorer
• SEMI F43 point-of-use gasrensere og gasfiltre samt testmetode til bestemmelse af partikelformigt additiv

Blandt de talrige test-, måling-, analyse- og evalueringsundersøgelser, den leverer til virksomheder i forskellige sektorer, tilbyder vores organisation også testtjenester til evaluering af partikelbidrag fra gassystemkomponenter, der er udsat for ætsende gas inden for rammerne af SEMI F76-standarden, med dens uddannede og ekspertpersonale og avanceret teknologisk udstyr.