စိုစွတ်သောမျက်နှာပြင်များရှိ သတ္တုဒြပ်စင်များကို ဆုံးဖြတ်ခြင်းအတွက် SEMI F115 စမ်းသပ်မှုနည်းလမ်းနှင့် အစိတ်အပိုင်းများ

ကမ္ဘာတစ်ဝှမ်းရှိ semiconductor၊ integrated circuits၊ transistors၊ diodes နှင့် flat panel display များကဲ့သို့သော စက်မှုလုပ်ငန်းများကို အကျိုးပြုသည့် လုပ်ဆောင်ချက်များပါဝင်သည့် International Semiconductor Equipment and Materials (SEMI) program ဟုခေါ်သော နိုင်ငံတကာစံချိန်စံညွှန်းအစီအစဉ်၏ မူဘောင်အတွင်း တီထွင်ထားသော SEMI F115 စံနှုန်းသည် ultra-high purity (UHP) ဓာတုဗေဒပို့ဆောင်မှုစနစ်များနှင့် အစိတ်အပိုင်းများ၏ ရေစိုနေသောမျက်နှာပြင်များပေါ်တွင်ရှိသော သတ္တုဒြပ်စင်များကို ဖော်ထုတ်ရန် စမ်းသပ်နည်းလမ်းတစ်ခုကို သတ်မှတ်ပေးသည်။

ဤစမ်းသပ်မှုနည်းလမ်းသည် အလွန်မြင့်မားသောသန့်ရှင်းစင်ကြယ်သော ဓာတုပစ္စည်းပေးပို့မှုစနစ်များနှင့် အစိတ်အပိုင်းများနှင့် သက်ဆိုင်ပါသည်။ စမ်းသပ်မှုနမူနာများတွင် အဆို့ရှင်များ၊ ထိန်းညှိကိရိယာများ၊ စစ်ထုတ်မှုများ၊ အစုလိုက်အပြုံလိုက်စီးဆင်းမှု ထိန်းချုပ်ကိရိယာများ၊ ပိုက်များ၊ ဂဟေဆက်များ နှင့် မျက်နှာတံဆိပ် တပ်ဆင်ခြင်းများ ပါဝင်သည်။ တပ်ဆင်မှု သို့မဟုတ် ထုတ်လုပ်ရေးဧရိယာမှ ညစ်ညမ်းမှုကို သိရှိရန် ဤစမ်းသပ်နည်းကိုလည်း အသုံးပြုနိုင်သည်။

စိုစွတ်နေသော မျက်နှာပြင်များပေါ်ရှိ အလွန်သန့်စင်သောရေဖြင့် ထုတ်ယူနိုင်သည့် သတ္တုဒြပ်စင်များကို ထုတ်ယူခြင်းနှင့် တိုင်းတာခြင်းနည်းလမ်းကို မေးခွန်းထုတ်သည့် စံနှုန်းတွင် အသေးစိတ်ဖော်ပြထားသည်။ အမျိုးမျိုးသော ဆေးကြောခြင်း သို့မဟုတ် သန့်ရှင်းရေးလုပ်ငန်းစဉ်များ၏ ထိရောက်မှုကို အကဲဖြတ်ရန် ဤစမ်းသပ်နည်းကိုလည်း အသုံးပြုနိုင်သည်။

အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်သောဓာတ်ငွေ့များကို ဆီမီးကွန်ဒတ်တာလုပ်ငန်းတွင် တွင်ကျယ်စွာအသုံးပြုကြသည်။ အလွန်မြင့်မားသောသန့်စင်မှုကို ယေဘူယျအားဖြင့် 100 ppb ထက်နည်းသော အာရုံစူးစိုက်မှုအဖြစ် ညစ်ညမ်းမှုအဆင့် သို့မဟုတ် အစိုဓာတ်ကဲ့သို့သော မတည်ငြိမ်သော မော်လီကျူးများအတွက် သတ်မှတ်ထားသည်။

ဤစံနှုန်းကို ပြင်ဆင်နေစဉ်တွင်၊ အောက်ဖော်ပြပါ SEMI စံနှုန်းများကို အကိုးအကားအဖြစ် ခံယူခဲ့သည်-

• SEMI E49.2 တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်းကိရိယာများတွင် အရည်ဓာတုစနစ်များအတွက်အသုံးပြုသည့် ပိုလီမာစည်းဝေးပွဲများ၏ အရည်အချင်းအတွက် လမ်းညွှန်
• SEMI E49.8 သည် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးပစ္စည်း ထုတ်လုပ်သည့် စက်များတွင် သန့်ရှင်းစင်ကြယ်ပြီး အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှုမြင့်မားသော ဓာတ်ငွေ့ဖြန့်ဖြူးမှုစနစ်များအတွက် လမ်းညွှန်
• ယေဘူယျရည်ရွယ်ချက်အတွက်အသုံးပြုသည့်အစိတ်အပိုင်းများအတွက် 20L သံမဏိဘားများ၊ အတုလုပ်ခြင်း၊ extruded ပုံသဏ္ဍာန်များ၊ ပန်းကန်ပြားနှင့် ပြွန်ပိုက်များအတွက် SEMI F316 သတ်မှတ်ချက်၊ သန့်ရှင်းစင်ကြယ်မှုနှင့် အလွန်မြင့်မားသော သန့်စင်မှုရှိသော ဆီမီးကွန်ဒတ်တာ ထုတ်လုပ်ခြင်းဆိုင်ရာ အပလီကေးရှင်းများ
• SEMI F63 Ultrapure ရေလမ်းညွှန် တစ်ပိုင်းလျှပ်ကူးတာ လုပ်ဆောင်ရာတွင် အသုံးပြုသည်။

ကဏ္ဍအသီးသီးရှိ စီးပွားရေးလုပ်ငန်းများအတွက် ပံ့ပိုးပေးသော စမ်းသပ်ခြင်း၊ တိုင်းတာခြင်း၊ ခွဲခြမ်းစိတ်ဖြာခြင်းနှင့် အကဲဖြတ်ခြင်းဆိုင်ရာ လေ့လာမှုများစွာရှိသည့်အနက်၊ ကျွန်ုပ်တို့၏အဖွဲ့အစည်းသည် SEMI ၏နယ်ပယ်အတွင်း အလွန်မြင့်မားသောသန့်စင်မှုရှိသော ဓာတုဖြန့်ဖြူးရေးစနစ်များနှင့် အစိတ်အပိုင်းများ၏ စိုစွတ်သောမျက်နှာပြင်များရှိ သတ္တုဒြပ်စင်များကို ဆုံးဖြတ်ခြင်းအတွက် စမ်းသပ်ဝန်ဆောင်မှုများပေးပါသည်။ F115 စံနှုန်းဖြင့် လေ့ကျင့်သင်ကြားထားပြီး ကျွမ်းကျင်ဝန်ထမ်းများနှင့် အဆင့်မြင့်နည်းပညာသုံး စက်ကိရိယာများ ကိုလည်း ပေးသည်။