تم تطويره في إطار برنامج معايير دولية يسمى معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية (SEMI) ، يصف معيار SEMI F104 المتطلبات ويقدم طرق اختبار لتقييم ومقارنة المكونات في تدفق سائل الماء عالي النقاء من حيث مساهمة الجسيمات. تحدد هذه المواصفة طريقتين للاختبار لتقييم مساهمة الجسيمات: طريقة اختبار الشطف وطريقة الاختبار الديناميكي.
يتم تطبيق كلتا طريقتين الاختبار على مكونات نظام الماء عالي النقاوة والمواد الكيميائية السائلة المعدة للاستخدام في أدوات تصنيع أشباه الموصلات والمعدات الملحقة.
طرق الاختبار الموضحة في هذه المواصفة القياسية هي اختبارات لقياس مساهمة الجسيمات للمكونات عند استخدام الماء عالي النقاوة كوسيط اختبار. لأغراض هذه المواصفة ، يجب أن يكون للمياه عالية النقاء الحد الأدنى من المتطلبات الموضحة في المعيار. عند تطبيق طرق الاختبار هذه ، يتم استخدام أداة قياس الجسيمات الضوئية السائلة لقياس الأداء. يشيع استخدام هذا الجهاز كمقياس للجسيمات لاكتشاف ومراقبة تلوث الجسيمات في بيئات نظيفة معينة ، بما في ذلك الهواء والماء والمواد الكيميائية. تُستخدم عدادات الجسيمات في التقنيات الصناعية مثل المكونات والتركيبات الإلكترونية ومنتجات الأدوية الصيدلانية والأجهزة الطبية والنفط والغاز لدعم ممارسات الإنتاج الأنظف.
أثناء إعداد هذا المعيار ، تم أخذ معايير SEMI التالية كمرجع:
من بين العديد من الاختبارات والقياسات والتحليلات والتقييمات التي تقدمها منظمتنا للشركات في مختلف القطاعات، نقدم أيضًا خدمات اختبار لتقييم محتوى الجسيمات في المكونات المستخدمة في أنظمة توزيع المياه فائقة النقاء والمواد الكيميائية السائلة وفقًا لمعيار SEMI F104، وذلك باستخدام موظفين مدربين وخبراء ومعدات تكنولوجية متقدمة.
يمكنك أن تطلب منا ملء النموذج الخاص بنا للحصول على موعد ، أو للحصول على معلومات أكثر تفصيلاً أو لطلب تقييم.
