طريقة الاختبار لتحديد كفاءة تبادل / تصريف الغاز لنظام توزيع الغاز SEMI F80

طريقة الاختبار لتحديد كفاءة تبادل / تصريف الغاز لنظام توزيع الغاز SEMI F80

تم تطويره في إطار برنامج معايير دولية يسمى معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية (SEMI) ، والذي يتضمن أنشطة لصالح الصناعات مثل أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة والترانزستورات والصمامات الثنائية وشاشات العرض المسطحة في جميع أنحاء العالم ، تمت الموافقة على معيار SEMI F80 تقنيًا من قبل اللجنة الفنية العالمية للغازات. هو معيار. تصف هذه المواصفة القياسية طريقة اختبار لتحديد كفاءة تبادل الغازات / التنظيف لنظام توزيع الغاز. تغطي هذه المواصفة القياسية كلاً من أنظمة إحكام الغلق المعدنية التقليدية وأنظمة توزيع الغاز المثبتة على السطح. طريقة الاختبار هذه مناسبة لجميع أنظمة توزيع الغاز عالية النقاء المستخدمة في مصانع تصنيع أشباه الموصلات وفي مجالات البحث والتطوير المماثلة.

طريقة الاختبار لتحديد كفاءة تبادل / تصريف الغاز لنظام توزيع الغاز SEMI F80

من المهم إزالة الهواء المحيط من جميع أجزاء نظام أنابيب الغاز عالي النقاء قبل إدخال غاز المعالجة. هذا ضروري لسببين:

  • يقلل الهواء المتبقي من نقاء غاز العملية. هذا ينطبق على أي غازات عملية ، سواء كانت خطرة أم لا.
  • يحتوي الهواء على الأكسجين وبخار الماء ، وتتفاعل بعض الغازات الخاصة مع الأكسجين ، ويمكن أن تتسبب نواتج التفاعل الناتجة في تلوث العملية وفشل مكون متنوع. تشكل الغازات الأخرى منتجات شديدة التآكل عند ملامستها لبخار الماء وتتلف نظام الأنابيب. يعد تآكل المعدات أيضًا سببًا للتلوث.

من الضروري إزالة غاز المعالجة من أي جزء من نظام الأنابيب قبل التعرض للهواء المحيط. يمكن سرد أسباب ذلك على النحو التالي:

  • العديد من الغازات المتخصصة شديدة السمية وتشكل خطراً جسيماً على صحة العمال.
  • بعض الغازات شديدة الاشتعال أو حتى الاشتعال الذاتي وتتسبب في نشوب حريق أو انفجار.
  • من ناحية أخرى ، تصبح بعض الغازات شديدة التآكل عند ملامستها لبخار الماء في الهواء وتتسبب في تلف المعدات والمرافق.

من بين العديد من الاختبارات والقياسات والتحليلات والتقييمات التي تقدمها منظمتنا للشركات في مختلف القطاعات، نقدم أيضًا خدمات اختبار لتحديد كفاءة تبادل/تفريغ الغاز لأنظمة توزيع الغاز في نطاق معيار SEMI F80، وذلك بفضل موظفينا المدربين والخبراء والمعدات التكنولوجية المتقدمة.

واتس اب