
تم تطويره في إطار برنامج معايير دولية يسمى معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية (SEMI) ، والذي يتضمن أنشطة لصالح الصناعات مثل أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة والترانزستورات والصمامات الثنائية وشاشات العرض المسطحة في جميع أنحاء العالم ، تمت الموافقة على معيار SEMI F80 تقنيًا من قبل اللجنة الفنية العالمية للغازات. هو معيار. تصف هذه المواصفة القياسية طريقة اختبار لتحديد كفاءة تبادل الغازات / التنظيف لنظام توزيع الغاز. تغطي هذه المواصفة القياسية كلاً من أنظمة إحكام الغلق المعدنية التقليدية وأنظمة توزيع الغاز المثبتة على السطح. طريقة الاختبار هذه مناسبة لجميع أنظمة توزيع الغاز عالية النقاء المستخدمة في مصانع تصنيع أشباه الموصلات وفي مجالات البحث والتطوير المماثلة.

من المهم إزالة الهواء المحيط من جميع أجزاء نظام أنابيب الغاز عالي النقاء قبل إدخال غاز المعالجة. هذا ضروري لسببين:
من الضروري إزالة غاز المعالجة من أي جزء من نظام الأنابيب قبل التعرض للهواء المحيط. يمكن سرد أسباب ذلك على النحو التالي:
من بين العديد من الاختبارات والقياسات والتحليلات والتقييمات التي تقدمها منظمتنا للشركات في مختلف القطاعات، نقدم أيضًا خدمات اختبار لتحديد كفاءة تبادل/تفريغ الغاز لأنظمة توزيع الغاز في نطاق معيار SEMI F80، وذلك بفضل موظفينا المدربين والخبراء والمعدات التكنولوجية المتقدمة.
