طريقة اختبار SEMI F72Auger لاختبار الطيف الإلكتروني (AES) للأسطح الرطبة لمكونات الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المعطلة

تم تطويره في إطار برنامج معايير دولية يسمى معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية (SEMI) ، والغرض من معيار SEMI F72 هو تحديد طريقة اختبار لتوصيف تركيبة السطح لمكونات الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المخمل التي تم النظر في تركيبها في نظام توزيع غاز عالي النقاء . تم تصميم طريقة الاختبار هذه ليتم تطبيقها على الأسطح الرطبة لأنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ والتجهيزات والصمامات والمكونات الأخرى كمقياس لفعالية التخميل. عملية التخميل هي عملية تحييد الحديد بعد استخدام حمض إزالة الصدأ.

الغرض من طريقة الاختبار هذه هو تحديد مجموعة عامة من معلمات وشروط الجهاز التي ستحصل على قياسات قابلة للتكرار داخل طبقة الأكسيد المنفعل المخصب بالكروم. تم إعداد طريقة الاختبار هذه لتوصيف تكوين وسمك طبقة الأكسيد المخصب بالكروم لأسطح الفولاذ المقاوم للصدأ وللكشف عن تلوث السطح في الأنابيب والتجهيزات والصمامات والمكونات الأخرى. تتضمن الطريقة الكشف عن تكوين عنصر السطح وقياسه بواسطة مطياف أوجيه الإلكتروني (AES). تصف طريقة الاختبار هذه أيضًا طريقة الاختبار لملف تعريف العمق التركيبي للكروم والحديد والنيكل والأكسجين والكربون الممتد من السطح المأخوذ من خلال طبقات الأكسيد إلى المعدن الأساسي. يوفر هذا القياس معلومات عن سماكة الأكسيد وإثراء الكروم في جميع أنحاء المنطقة المخدرة.

باستخدام مطياف أوجيه الإلكتروني (AES) ، يتم قصف العينة بإلكترونات عالية الطاقة ويتم إزالة بعض الإلكترونات من الذرات المستهدفة وتتأين الذرات. نظرًا لأن الذرة المتأينة غير مستقرة ، فإن إلكترونًا من المدار الخارجي يملأ الفراغ الإلكتروني في المدار الداخلي. هذه الطريقة هي تقنية تحليل صور قوية للغاية.

أثناء إعداد هذا المعيار ، تم أخذ معايير SEMI التالية كمرجع:

• مواصفات SEMI C57 أرجون
• مواصفات النيتروجين SEMI C59

منظمتنا ، من بين العديد من دراسات الاختبار والقياس والتحليل والتقييم التي قدمتها للشركات في مختلف القطاعات ، مع موظفيها المدربين والخبراء والمعدات التكنولوجية المتقدمة ، طريقة اختبار التحليل الطيفي الإلكتروني لأوجير (AES) ضمن نطاق SEMI F72 المعيار هو طريقة اختبار الأكسيد للأسطح الرطبة لمكونات الفولاذ المقاوم للصدأ 316L المخمل.كما يوفر خدمات اختبار لتقييم الطبقة.