وحدة مرشح مروحة معدات SEMI F111 (EFFU) طريقة اختبار لإزالة الجسيمات

يحدد معيار SEMI F111، الذي تم تطويره في إطار برنامج المعايير الدولية المسمى معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية (SEMI)، والذي يشمل أنشطة تفيد الصناعات مثل أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة والترانزستورات والديودات وشاشات العرض المسطحة في جميع أنحاء العالم، طريقة اختبار لقياس قدرة إزالة الجسيمات لوحدات ترشيح مروحة المعدات (EFFUs) المثبتة داخل المعدات.

نظرًا لوجود مرشح جسيمات مروحة ومروحة ومجموعة محرك مثبتة داخل الجهاز ، فإن سلامة هذه الأجزاء أمر بالغ الأهمية لأداء وحدة مرشح مروحة المعدات. لذلك ، فإن طريقة اختبار إزالة الجسيمات التقليدية لمرشحات الجسيمات مناسبة لتقييم أداء إزالة الجسيمات لوحدة مرشح مروحة المعدات.

تصف طريقة الاختبار الموضحة في هذه المواصفة القياسية طريقة تقييم لوحدة مرشح مروحة المعدات المثبتة في مكان ضيق لإزالة الجسيمات المنتجة داخل معدات العملية. يعتمد أداء إزالة الجسيمات لوحدات مرشح مروحة المعدات بشكل عام على أداء وسيط المرشح ومعدل تدفق الهواء. لفهم أداء وحدة مرشح مروحة المعدات ، من الضروري مراعاة مواصفات وسائط المرشح ومعدل تدفق الهواء وسلامة أجزاء وحدة مرشح مروحة المعدات في نفس الوقت. باختصار ، تهدف طريقة الاختبار هذه إلى توضيح أداء نظام وحدة مرشح مروحة الجهاز.

وحدة مرشح مروحة المعدات هي نوع من معدات ترشيح الهواء الآلية. يتم استخدامه لإزالة الجزيئات الضارة المحمولة جواً من الهواء المحيط ولتوفير الهواء النقي لتنظيف الغرف أو المختبرات أو المرافق الطبية أو البيئات الدقيقة. تحتوي هذه الوحدات عادةً على مرشحها الخاص وفلتر HEPA وتوزيع هواء المروحة المتحكم فيه داخليًا. تعد وحدات مرشح مروحة المعدات حلولًا مرنة واقتصادية لإزالة الجسيمات من المعدات ذات التهوية أحادية الاتجاه.

أثناء إعداد هذا المعيار ، تم أخذ معيار SEMI التالي كمرجع:

• طريقة اختبار SEMI F38 للتأهيل الفعال لمرشحات الغاز في نقطة الاستخدام

من بين العديد من دراسات الاختبار والقياس والتحليل والتقييم التي توفرها للشركات في مختلف القطاعات ، توفر مؤسستنا أيضًا خدمات اختبار لتنظيف الجسيمات لوحدة مرشح مروحة المعدات (EFFU) ضمن نطاق معيار SEMI F111 ، مع طاقمها المدرب والخبير والمعدات التكنولوجية المتقدمة.