طريقة اختبار SEMI F76 لتقييم مساهمة الجسيمات من مكونات نظام الغاز المعرضة للغازات المسببة للتآكل

طريقة اختبار SEMI F76 لتقييم مساهمة الجسيمات من مكونات نظام الغاز المعرضة للغازات المسببة للتآكل

يُحدد معيار SEMI F76، الذي طُوّر ضمن برنامج المعايير الدولية المعروف باسم "المنظمة الدولية لمعدات ومواد أشباه الموصلات" (SEMI) ، طريقة اختبار لمقارنة مكونات معالجة الغاز من حيث احتمالية توليد الجسيمات في بيئات الغازات المسببة للتآكل. صُمم هذا المعيار ليكون وسيلة عملية لتوليد بيانات الأداء لمجموعة من المكونات المراد مقارنتها في عملية الاختيار. وتُطبق طريقة الاختبار الموصوفة على الصمامات، ومرشحات الجسيمات، ومنظمات الضغط المنخفض.

طريقة اختبار SEMI F76 لتقييم مساهمة الجسيمات من مكونات نظام الغاز المعرضة للغازات المسببة للتآكل

توفر معايير SEMI للمصنعين إرشادات بشأن المواد الكيميائية وعمليات المواد المستخدمة في تصنيع رقائق أشباه الموصلات والأجهزة الأخرى ذات الصلة. بفضل هذه المعايير ، يمكن للشركات دخول الأسواق الدولية وتقليل مخاطر التصميم وزيادة إنتاجيتها.

بالنسبة لصناعة أشباه الموصلات ، تعد النقاوة العالية والمقاومة الكيميائية والكثافة والدقة أدوات مهمة لتطوير المنتجات وعمليات التصنيع. مواد أشباه الموصلات هي المواد التي تكتسب خصائص موصلة مع تأثير العمل الميكانيكي المطبق عليها. هذه المواد ، التي تعتبر عوازل في ظل الظروف العادية ، تطلق بعض إلكتروناتها وتصبح موصلة عند تطبيق تأثيرات خارجية مثل الحرارة أو الضوء أو التأثير المغناطيسي أو الجهد الكهربائي. عند إزالة هذا التأثير الخارجي المطبق ، تعود هذه المواد إلى حالة العزل مرة أخرى. بفضل هذه الخصائص ، تستخدم أشباه الموصلات على نطاق واسع في مجال الإلكترونيات.

تتعلق معايير SEMI أيضًا بمصادر الغازات المخزنة / المضغوطة وأنظمة التوزيع. كما يشير بشكل عام إلى غازات مضافة عالية السمية أثناء خطوات الانتشار ذات درجة الحرارة العالية.

أثناء إعداد هذا المعيار ، تم أخذ معايير SEMI التالية كمرجع:

  • مواصفات النيتروجين SEMI C59
  • طريقة اختبار SEMI E66 لتحديد مساهمة الجسيمات بواسطة أجهزة التحكم في التدفق الكتلي
  • أجهزة تنقية الغاز ومرشحات الغاز SEMI F43 وكذلك طريقة الاختبار لتحديد المواد المضافة للجسيمات

منظمتنا ، من بين العديد من دراسات الاختبار والقياس والتحليل والتقييم التي توفرها للشركات في مختلف القطاعات ، توفر أيضًا خدمات اختبار لتقييم مساهمة الجسيمات من مكونات نظام الغاز المعرضة للغازات المسببة للتآكل في نطاق معيار SEMI F76 ، مع موظفين مدربين وخبراء ومعدات تكنولوجية متقدمة.

واتس اب