
تم تطويره في إطار برنامج معايير دولية يسمى معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية (SEMI) ، يحدد معيار SEMI F114 طريقة اختبار لتحديد المركبات العضوية على الأسطح الرطبة لأنظمة ومكونات توصيل المواد الكيميائية عالية النقاء (UHP).

طريقة الاختبار هذه قابلة للتطبيق على أنظمة ومكونات توصيل المواد الكيميائية فائقة النقاء. تشمل أمثلة الاختبارات الصمامات ، والمنظمين ، والمرشحات ، وأجهزة التحكم في التدفق الكتلي ، والأنابيب ، وتجهيزات اللحام ، وتركيبات مانع تسرب الوجه. تُستخدم طريقة الاختبار الموصوفة أيضًا للكشف عن التلوث من منطقة التجميع أو الإنتاج. توضح طريقة الاختبار هذه طريقة إزالة وقياس الملوثات العضوية الموجودة على الأسطح الرطبة.
باختصار ، يمكن أيضًا استخدام طريقة الاختبار هذه لتقييم فعالية عمليات الغسيل أو التنظيف المختلفة.
أثناء إعداد هذا المعيار ، تم أخذ معايير SEMI التالية كمرجع:
تُعرَّف الملوثات العضوية بأنها مواد كيميائية كربونية، مثل المذيبات العضوية، والمبيدات الحشرية، والنفايات البترولية، والأخشاب، والمركبات المتطايرة في الحالة الغازية أو السائلة. وتُسبب هذه الملوثات عمومًا آثارًا سلبية على البيئة. وتُعتبر المستويات الضئيلة من مخلفات الملوثات العضوية الموجودة في التربة والماء والهواء، وأحيانًا في الغذاء، ضارة بصحة الإنسان والبيئة. وقد تشمل الملوثات العضوية في الحالة الغازية أو السائلة المذيبات، والسلائف والمركبات الكيميائية الوسيطة، والمركبات العضوية المتطايرة (VOCs) على شكل مركبات بترولية.
من بين العديد من دراسات الاختبار والقياس والتحليل والتقييم التي توفرها للشركات في مختلف القطاعات ، توفر مؤسستنا خدمات اختبار لتحديد الملوثات العضوية على الأسطح الرطبة لأنظمة ومكونات توزيع المواد الكيميائية فائقة النقاء ضمن نطاق SEMI F114 القياسية ، مع موظفيها المدربين والخبراء والمعدات التكنولوجية المتقدمة.
