يُحدد معيار SEMI F 64، الذي طُوّر ضمن إطار برنامج المعايير الدولية المعروف باسم "المنظمة الدولية لمعدات ومواد أشباه الموصلات" (SEMI)، والذي يشمل أنشطة تُفيد صناعاتٍ مثل أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة والترانزستورات والديودات وشاشات العرض المسطحة في جميع أنحاء العالم، طريقة اختبار لتوصيف مُتحكم تدفق الكتلة المُصمم للتركيب في نظام توزيع الغاز. تُطبّق طريقة الاختبار هذه لتحديد تأثير ظروف ضغط الدخول والخروج العابرة والمستقرة على أداء مُتحكم تدفق الكتلة.
توفر طريقة الاختبار هذه أساسًا مشتركًا للتواصل بين الشركات المصنعة والمستخدمين فيما يتعلق باختبار وشرح تأثيرات ضغط جهاز التحكم في التدفق الشامل.
باستخدام طريقة الاختبار هذه، يتم تحديد تأثيرات الضغط العابر عند المنبع (المدخل) والمصب (التدفق الخارجي) على التدفق المحدد والفعلي. تعطي طريقة الاختبار هذه نتائج تدفق المخرج الفعلي مقابل التدفق المحدد ونقطة ضبط وحدة التحكم في التدفق الشامل المتأثرة بضغط مدخل الحالة المستقرة. تنطبق هذه الطريقة على وحدات التحكم في التدفق الجماعي التي يصل الحد الأقصى لنطاق التدفق فيها إلى 1000 متر مكعب (سنتيمتر مكعب قياسي في الدقيقة).
تؤدي زيادة الضغط إلى ضغط الغاز. تتميز الغازات بكثافة أعلى وتحتل حجمًا أصغر. وبعبارة أخرى، إذا كانت كتلة معينة من الغاز تتدفق، فإن حجمها أصغر. وبما أن نفس كتلة الغاز تتدفق عبر نفس الأنبوب، فإن سرعة الغاز المضغوط تنخفض.
في تطبيقات الغاز، يمكن أن تؤثر تقلبات ضغط الغاز على سرعة الغاز، وبالتالي تؤثر بشكل كبير على أدوات قياس تدفق الغاز.
في الأساس، التدفق هو مقياس لإخراج الهواء من حيث الحجم لكل وحدة زمنية. تشير السرعة إلى مدى سرعة تحرك الهواء لكل وحدة زمنية. الضغط هو مقياس القوة المطبقة على منطقة ما.
تتضمن مؤسستنا، من بين دراسات الاختبار والقياس والتحليل والتقييم العديدة التي تقدمها للشركات في مختلف القطاعات، أيضًا خدمات اختبار لتحديد تأثيرات الضغط على التدفق الفعلي والموضحة لأجهزة التحكم في التدفق الشامل ضمن نطاق معيار SEMI F64 مع موظفيها المدربين والخبراء والمعدات التكنولوجية المتقدمة.
يمكنك أن تطلب منا ملء النموذج الخاص بنا للحصول على موعد ، أو للحصول على معلومات أكثر تفصيلاً أو لطلب تقييم.
