إن معيار SEMI F70، الذي تم تطويره في إطار برنامج المعايير الدولية المسمى "معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية" (SEMI)، هو معيار معتمد تقنيًا من قبل اللجنة الفنية العالمية للغازات. الغرض من هذه المواصفة القياسية هو توفير منهجية قياسية وطريقة اختبار لقياس الأداء الإضافي للجسيمات لنظام توزيع الغاز من حيث عدد الجزيئات المضافة إلى الغاز المتدفق عبر النظام. تم تصميم هذا الإجراء الموحد للاستخدام على نطاق واسع من قبل موردي أنظمة توزيع الغاز وموردي المعدات والمستخدمين النهائيين.
تنطبق طريقة الاختبار المعنية على أنظمة توزيع الغاز التقليدية المثبتة على السطح والمستخدمة في معدات تصنيع أشباه الموصلات. أثناء الاختبارات، يتم أخذ معيار SEMI F70.1-0320 المبني على هذا المعيار في الاعتبار (طريقة اختبار لتحديد مساهمة الجسيمات في نظام توزيع الغاز ومكوناته عن طريق اختبار التأثير).
من أهم القضايا في تصميم نظام توزيع الغاز هو مستوى نقاء الغاز المطلوب في كل نقطة استخدام. يتم تبسيط الحفاظ على نقاء الغاز من خلال نظام مركزي. يجب أن يكون اختيار المواد للتركيب متسقًا طوال الوقت. على سبيل المثال، إذا تم استخدام غاز من الدرجة البحثية، فيجب استخدام جميع الإنشاءات المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ وصمامات الإغلاق المعبأة بغشاء لمنع تلوث تدفق الغاز. بشكل عام، هناك ثلاثة مستويات من النقاء لوصف جميع التطبيقات تقريبًا: نقاء لجميع الأغراض، ونقاء عالي، ونقاء فائق.
لا تهدف معايير SEMI وممارسات الأمان إلى معالجة جميع المشكلات الأمنية المرتبطة باستخدامها. وتقع على عاتق مستخدمي المعايير مسؤولية وضع ممارسات السلامة والصحة المناسبة وتحديد إمكانية تطبيق القيود على الاستخدام.
باختصار، الغرض من معيار SEMI F70 هو توفير طريقة لقياس الأداء الإضافي للجسيمات لنظام توزيع الغاز من حيث عدد الجزيئات المضافة إلى الغاز المتدفق عبر النظام.
أثناء إعداد هذا المعيار ، تم أخذ معايير SEMI التالية كمرجع:
من بين العديد من دراسات الاختبار والقياس والتحليل والتقييم التي تقدمها للشركات في مختلف القطاعات، توفر منظمتنا أيضًا خدمات اختبار لتحديد مساهمة الجسيمات في نظام توزيع الغاز ضمن نطاق معيار SEMI F70، مع موظفين مدربين وخبراء. والمعدات التكنولوجية المتقدمة.
يمكنك أن تطلب منا ملء النموذج الخاص بنا للحصول على موعد ، أو للحصول على معلومات أكثر تفصيلاً أو لطلب تقييم.
