تم تطويره في إطار برنامج معايير دولية يسمى معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية (SEMI) ، والذي يتضمن أنشطة لصالح الصناعات مثل أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة والترانزستورات والصمامات الثنائية وشاشات العرض المسطحة في جميع أنحاء العالم ، تمت الموافقة على معيار SEMI F106 تقنيًا من قبل اللجنة الفنية العالمية للغازات. هو معيار. تصف هذه المواصفة القياسية طريقة اختبار لاكتشاف تسرب الهيليوم الداخلي لأنظمة توزيع الغاز. تغطي هذه المواصفة القياسية كلاً من أنظمة إحكام الغلق المعدنية التقليدية وأنظمة توزيع الغاز المثبتة على السطح.
طريقة الاختبار المقدمة قابلة للتطبيق على جميع أنواع أنظمة توزيع الغاز عالية النقاء المستخدمة في مصانع تصنيع أشباه الموصلات ومجالات البحث والتطوير المماثلة.
يتم تطبيق اختبار تسرب الهيليوم لاكتشاف التسريبات المحتملة في أنواع مختلفة من الأنظمة المغلقة أو المغلقة التي تستخدم الهيليوم كغاز تتبع. مع هذا الاختبار ، يتم قياس تركيز (التسرب) وتحديد معدل التسرب.
الصفات الرئيسية الرئيسية لغاز الهليوم والتي تجعله مثالياً لاختبار التسرب هي:
باختصار ، تعد طرق الاختبار المعتمدة على الهيليوم تقنية اختبار تسرب حساسة للغاية ومجهزة باكتشاف التسريبات الصغيرة للغاية التي لا يمكن القيام بها باستخدام طرق اختبار التسرب الأخرى. يتم استخدام تقنية التفريغ العالي أثناء هذا الاختبار. يتم توفير عتبات اختبار تسرب منخفضة للغاية ، وهو مستوى من الحساسية يسمح بإجراء مقارنات لا مثيل لها بين مكونات الحزمة.
تقدم منظمتنا ، من بين العديد من دراسات الاختبار والقياس والتحليل والتقييم التي توفرها للشركات في مختلف القطاعات ، خدمات اختبار لتحديد سلامة تسرب أنظمة توزيع الغاز باستخدام كاشف تسرب الهيليوم ضمن نطاق معيار SEMI F106 ، مع موظفيها المدربين وذوي الخبرة والمعدات التكنولوجية المتقدمة.
يمكنك أن تطلب منا ملء النموذج الخاص بنا للحصول على موعد ، أو للحصول على معلومات أكثر تفصيلاً أو لطلب تقييم.
