طريقة اختبار SEMI F73 لمسح المجهر الإلكتروني (SEM) تقييم حالة السطح الرطب لمكونات الفولاذ المقاوم للصدأ

تم تطويره في إطار برنامج معايير دولية يسمى معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية (SEMI) ، يحدد معيار SEMI F73 طريقة اختبار موحدة لاختبار الأسطح الرطبة لمكونات الفولاذ المقاوم للصدأ المعدة للتجميع في أنظمة توزيع الغاز عالية النقاء. تحدد طريقة الاختبار هذه حدوث ، وتكرار ، وفي بعض الحالات ، تحديد عيوب السطح المجهرية والملوثات التي تظهر على الأسطح الرطبة.

هناك علاقة مباشرة بين نتائج طريقة الاختبار هذه وتلوث غازات العملية أو إنتاجية المنتج في العمليات التي تخدمها أنظمة توزيع الغاز عالية النقاء. يهدف تطبيق طريقة الاختبار هذه إلى تحقيق نتائج قابلة للمقارنة وقابلة للتكرار بين مختلف مستخدمي هذه الطريقة بغرض تأهيل المكونات.

الغرض من طريقة الاختبار الموضحة في هذه المواصفة القياسية هو تحديد مجموعة عامة من المعلمات والظروف الآلية التي ستحصل على قياسات دقيقة وقابلة للتكرار للمعلمات المهمة لحالة السطح.

طريقة الاختبار هذه قابلة للتطبيق على الأسطح الرطبة على الأنابيب الفولاذية المقاومة للصدأ والتجهيزات والصمامات والمكونات الأخرى لتحديد فعالية تشطيب السطح ومعالجات التنظيف. يتم تطبيق هذه الطريقة لتحديد عيوب السطح بما في ذلك الحفر والشوائب والخدوش وعلامات العملية المتبقية وحدود الحبوب والتلوث على الأسطح المبللة. ومع ذلك ، يجب استبعاد أي تلف سطحي يحدث أثناء تحضير العينة من هذا التقييم.

المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) هو مجهر إلكتروني يستخدم حزمة مركزة من الإلكترونات لمسح سطح العينة وتصويره. تتفاعل الإلكترونات مع الذرات في العينة وتنتج إشارات مختلفة تحتوي على معلومات حول التركيب على سطح العينة. أجهزة المسح القياسية مناسبة لفحص الأسطح الجافة والموصلية في الفراغ العالي. ومع ذلك ، هناك أيضًا أجهزة مسح تعمل في فراغ منخفض وظروف رطبة تتراوح من درجات حرارة منخفضة جدًا إلى درجات حرارة عالية.

من بين العديد من الاختبارات والقياسات والتحليلات والتقييمات التي تقدمها مؤسستنا للشركات في مختلف القطاعات، نقدم أيضًا خدمات اختبار لتقييم حالة السطح الرطب لمكونات الفولاذ المقاوم للصدأ باستخدام المجهر الإلكتروني الماسح (SEM) في نطاق معيار SEMI F73، وذلك بفضل موظفينا المدربين والخبراء والمعدات التكنولوجية المتقدمة.