طريقة الاختبار لتحديد كفاءة جهاز التصفية SEMI F68

طريقة الاختبار لتحديد كفاءة جهاز التصفية SEMI F68

تم تطويره في إطار برنامج المعايير الدولية المسمى "معدات ومواد أشباه الموصلات الدولية" (SEMI)، والغرض من معيار SEMI F68 هو تحديد طريقة اختبار لتحديد فعالية جهاز التنقية لإزالة الشوائب الغازية النشطة من غاز المصفوفة. أي أن الهدف هو تحديد مدى فعالية جهاز تنقية الغاز في إزالة نوع معين من التلوث.

طريقة الاختبار لتحديد كفاءة جهاز التصفية SEMI F68

يتم إجراء اختبارات الكفاءة عن طريق إضافة مستويات جزء في المليون (جزء في المليون) من الشوائب الغازية إلى غاز مصفوفة نقي ومراقبة إخراج جهاز تنقية الاختبار لأنواع الشوائب النشطة. يتم إجراء هذه الاختبارات بمعدل التدفق ودرجة حرارة التشغيل والضغط الموصى بها من قبل الشركة الموردة. طريقة الاختبار الموصوفة صالحة لأجهزة التوضيح واسعة النطاق.

من المهم جدًا أن تعمل أجهزة التنقية بشكل صحيح للتعامل مع حدود معينة. كفاءتها ليست ثابتة بسبب عوامل مختلفة مثل قيود الصيانة أو التشغيل الخاصة بأجهزة التنقية. في حين أن جهاز التنقية قد يتمتع بكفاءة فصل اسمية تبلغ 90 بالمائة، إلا أن الكفاءة الفعلية يمكن أن تتراوح من 20 بالمائة إلى 60 بالمائة. إذا كانت كفاءة جهاز التنقية غير معروفة، فهناك خطر دخول الوقود غير المرغوب فيه إلى المحرك الرئيسي وبالتالي خطر كبير للتلف.

تُلحق الجسيمات الدقيقة الضرر بمكونات نظام حقن الوقود، وتؤدي إلى تآكل فوهة الحقن، واضطراب نمط الرش، مما ينتج عنه توزيع غير متساوٍ للوقود. وللحد من احتمالية انسكاب المزيد من الوقود المحتوي على مستويات عالية من الجسيمات الدقيقة، يتم اعتماد مزيج من الترسيب والتنقية والترشيح.

بشكل عام، تؤدي هذه المواقف الثلاثة إلى مراقبة كفاءة جهاز التنقية:

  • عندما تشير نتائج التحليل المختبري إلى مستويات عالية للغاية من الجزيئات الدقيقة في الوقود
  • عند مواجهة مشاكل تشغيلية في أنظمة الإرسال
  • كجزء من روتين الصيانة المخطط لها

أثناء إعداد هذا المعيار ، تم أخذ معايير SEMI التالية كمرجع:

  • دليل SEMI E29 للوحدات القياسية للضغط ودرجة الحرارة والكثافة والتدفق المستخدمة في أجهزة قياس التدفق الشامل وأجهزة التحكم في التدفق الجماعي
  • إرشادات SEMI F6 بشأن الاحتواء الثانوي لأنظمة أنابيب الغاز الخطرة
  • دليل أنظمة توزيع الغاز SEMI F22

من بين دراسات الاختبار والقياس والتحليل والتقييم العديدة التي تقدمها مؤسستنا للشركات في مختلف القطاعات، توفر مؤسستنا أيضًا خدمات اختبار لتحديد كفاءة التنقية في نطاق معيار SEMI F68، مع موظفين مدربين وخبراء ومعدات تكنولوجية متقدمة.

واتس اب