طريقة اختبار SEMI F115 لتحديد العناصر المعدنية في الأسطح الرطبة لأنظمة ومكونات توصيل المواد الكيميائية فائقة النقاء

طريقة اختبار SEMI F115 لتحديد العناصر المعدنية في الأسطح الرطبة لأنظمة ومكونات توصيل المواد الكيميائية فائقة النقاء

يحدد معيار SEMI F115، الذي تم تطويره في إطار برنامج المعايير الدولية المسمى برنامج المعدات والمواد لأشباه الموصلات الدولية (SEMI)، والذي يتضمن أنشطة تفيد الصناعات مثل أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة والترانزستورات والديودات وشاشات العرض المسطحة في جميع أنحاء العالم، طريقة اختبار لتحديد العناصر المعدنية الموجودة على الأسطح المبللة لأنظمة ومكونات توصيل المواد الكيميائية فائقة النقاء (UHP).

طريقة اختبار SEMI F115 لتحديد العناصر المعدنية في الأسطح الرطبة لأنظمة ومكونات توصيل المواد الكيميائية فائقة النقاء

تنطبق طريقة الاختبار هذه على أنظمة ومكونات توصيل المواد الكيميائية فائقة النقاء. تشمل أمثلة الاختبارات الصمامات، والمنظمات، والمرشحات، وأجهزة التحكم في التدفق الشامل، والأنابيب، وتجميعات اللحام، وتجميعات ختم الوجه. يمكن أيضًا استخدام طريقة الاختبار هذه للكشف عن التلوث من موقع التجميع أو التصنيع.

توضح هذه المواصفة القياسية طريقة إزالة وقياس العناصر المعدنية القابلة للإزالة بالماء عالى النقاء على الأسطح المبللة. يمكن أيضًا استخدام طريقة الاختبار هذه لتقييم فعالية عمليات الغسيل أو التنظيف المختلفة.

تستخدم الغازات فائقة النقاء على نطاق واسع في صناعة أشباه الموصلات. يتم تعريف النقاء الفائق عمومًا على أنه تركيز أقل من 100 جزء في البليون لأي جزيئات متطايرة مثل مستوى الشوائب أو الرطوبة.

أثناء إعداد هذا المعيار ، تم أخذ معايير SEMI التالية كمرجع:

  • SEMI E49.2 إرشادات لتأهيل مجموعات البوليمر المستخدمة في الأنظمة الكيميائية السائلة في معدات أشباه الموصلات
  • دليل SEMI E49.8 لأنظمة توزيع الغاز عالية النقاء وعالية النقاء في معدات تصنيع أشباه الموصلات
  • مواصفات SEMI F20 لقضيب الفولاذ المقاوم للصدأ 316L ، والمطروقات ، والأشكال المبثوقة ، والألواح والأنابيب للمكونات المستخدمة في الأغراض العامة ، وتطبيقات تصنيع أشباه الموصلات عالية النقاء وعالية النقاء
  • دليل المياه فائق النقاء SEMI F63 المستخدم في معالجة أشباه الموصلات

تقدم مؤسستنا خدمات اختبار لتحديد العناصر المعدنية على الأسطح الرطبة لأنظمة ومكونات توزيع المواد الكيميائية فائقة النقاء ضمن نطاق معيار SEMI F115، مع موظفيها المدربين والخبراء والمعدات التكنولوجية المتقدمة، من بين العديد من الاختبارات والقياسات والدراسات التحليلية والتقييمية التي يقدمها للشركات في مختلف القطاعات.

واتس اب