Phương pháp thử nghiệm SEMI F101 để xác định hiệu suất của bộ điều chỉnh áp suất trong hệ thống phân phối khí

Được phát triển trong khuôn khổ chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), tiêu chuẩn SEMI F101 xác định phương pháp thử nghiệm để kiểm tra bộ điều áp được xem xét để lắp đặt trong hệ thống khí. Việc áp dụng phương pháp thử nghiệm này được kỳ vọng sẽ cung cấp dữ liệu có thể so sánh được giữa các cơ quan quản lý được thử nghiệm cho các mục đích chất lượng. Tiêu chuẩn này cung cấp một phương pháp thử nghiệm để xác định các đặc tính hoạt động của bộ điều chỉnh.

Phương pháp thử này áp dụng cho bộ điều chỉnh áp suất. Các phương pháp kiểm tra đo lường các đặc tính này phải được thực hiện theo thứ tự sau:

Số hạt
rò rỉ
leo / sụp đổ
Hiệu ứng áp suất nguồn cấp dữ liệu
Độ phân giải
Đường cong dòng chảy, đường cong độ trễ và áp suất so với giá trị độ trễ vận hành
Độ lặp lại
Điều chỉnh độ ổn định áp suất
đáp ứng nhất thời chức năng bước
cộng hưởng
hệ số dòng chảy
Quá áp
sức mạnh

Tóm lại, phương pháp kiểm tra này cung cấp một cơ sở chung cho việc giao tiếp giữa nhà sản xuất và người sử dụng.

Các nhà sản xuất thiết kế hệ thống phân phối khí của họ dựa trên các thông lệ tốt nhất và tạo ra nhiều cấu hình phù hợp với nhu cầu. Hệ thống phân phối khí có thể cấu hình và tuân thủ tiêu chuẩn được thiết kế để giúp bảo vệ người vận hành hệ thống, tăng thời gian hoạt động của quy trình, đồng thời cải thiện độ chính xác và độ lặp lại của quy trình. An toàn và chức năng là những yếu tố quan trọng nhất trong quá trình này. Hệ thống bao gồm một hoặc một bộ điều chỉnh áp suất để cung cấp hiệu quả khí từ nguồn áp suất cao đến phần còn lại của cơ sở ở áp suất và tốc độ dòng chảy theo yêu cầu của từng ứng dụng. Tại thời điểm này, điều quan trọng là phải xác định hiệu suất của bộ điều áp. Đối với người dùng thương mại và công nghiệp, áp suất ổn định là điều cần thiết để các hoạt động không bị ảnh hưởng.

Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:

SEMI F1 Đặc điểm kỹ thuật về tính toàn vẹn của rò rỉ của các hệ thống và thành phần đường ống khí có độ tinh khiết cao
SEMI F32 Phương pháp thử nghiệm để xác định hệ số dòng chảy trong van ngắt có độ tinh khiết cao

Bên cạnh vô số các thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà tổ chức chúng tôi cung cấp cho các doanh nghiệp trong nhiều lĩnh vực khác nhau, chúng tôi cũng cung cấp dịch vụ thử nghiệm để xác định hiệu suất của các bộ điều chỉnh áp suất trong hệ thống phân phối khí theo tiêu chuẩn SEMI F101, nhờ vào đội ngũ nhân viên được đào tạo chuyên nghiệp và giàu kinh nghiệm cùng thiết bị công nghệ tiên tiến.