Được phát triển theo một chương trình tiêu chuẩn quốc tế được gọi là Thiết bị và Vật liệu Bán dẫn Quốc tế (SEMI), tiêu chuẩn SEMI F70 là một tiêu chuẩn kỹ thuật được Ủy ban Kỹ thuật Toàn cầu Gases phê duyệt. Mục đích của tiêu chuẩn này là cung cấp phương pháp luận và phương pháp thử tiêu chuẩn để đo tính năng phụ gia dạng hạt của hệ thống phân phối khí về số lượng các hạt được thêm vào khí chảy qua hệ thống. Quy trình tiêu chuẩn hóa này nhằm mục đích được sử dụng rộng rãi bởi các nhà cung cấp hệ thống phân phối khí, nhà cung cấp thiết bị và người dùng cuối.
Phương pháp thử nghiệm được đề cập áp dụng cho hệ thống phân phối khí gắn trên bề mặt thông thường được sử dụng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Trong quá trình thử nghiệm, tiêu chuẩn SEMI F70.1-0320 kèm theo tiêu chuẩn này được tính đến (phương pháp thử nghiệm để xác định sự đóng góp hạt của hệ thống phân phối khí và các thành phần của nó bằng thử nghiệm va đập).
Một trong những lưu ý quan trọng nhất khi thiết kế hệ thống phân phối khí là mức độ tinh khiết của khí cần thiết tại mỗi điểm sử dụng. Duy trì độ tinh khiết của khí được đơn giản hóa bằng một hệ thống tập trung. Việc lựa chọn vật liệu để lắp đặt phải nhất quán trong suốt. Ví dụ, nếu sử dụng khí cấp nghiên cứu thì nên sử dụng tất cả cấu trúc bằng thép không gỉ và van đóng không có màng ngăn để ngăn chặn sự nhiễm bẩn của dòng khí. Nói chung, có ba cấp độ tinh khiết để mô tả hầu hết mọi ứng dụng: độ tinh khiết đa mục đích, độ tinh khiết cao và độ tinh khiết cực cao.
Các tiêu chuẩn và thực tiễn bảo mật của SEMI không tuyên bố sẽ giải quyết tất cả các vấn đề bảo mật cho việc sử dụng chúng. Người sử dụng các tiêu chuẩn có trách nhiệm thiết lập các thực hành an toàn và sức khỏe thích hợp và xác định khả năng áp dụng các hạn chế từ việc sử dụng.
Nói tóm lại, mục đích của tiêu chuẩn SEMI F70 là cung cấp một phương pháp đo hiệu suất phụ gia dạng hạt của hệ thống phân phối khí về số lượng các hạt được thêm vào khí đi qua hệ thống.
Trong khi chuẩn bị tiêu chuẩn này, các tiêu chuẩn SEMI sau đây đã được lấy làm tài liệu tham khảo:
Trong số nhiều nghiên cứu thử nghiệm, đo lường, phân tích và đánh giá mà nó cung cấp cho các doanh nghiệp trong các lĩnh vực khác nhau, tổ chức của chúng tôi cũng cung cấp các dịch vụ thử nghiệm để xác định sự đóng góp của hạt của hệ thống phân phối khí trong phạm vi của tiêu chuẩn SEMI F70, với đội ngũ chuyên gia và thiết bị công nghệ tiên tiến.
Bạn có thể yêu cầu chúng tôi điền vào mẫu của chúng tôi để có được một cuộc hẹn, để có thêm thông tin hoặc yêu cầu đánh giá.
